फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 0.5°C का ही अंतर भी वायरलाइनों की मोटाई में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है… और इसी कारण ही बहुत सारे उत्पाद बर्बाद हो जाते हैं। हमने इसी वास्तविकता को ध्यान में रखते हुए अपने लिथोग्राफी ओवन लैंपों को विकसित किया है… ऐसे लैंपों में शॉर्ट-वेव एनआईआर तरंगें उपयोग में आती हैं… जिससे तेज़ एवं सीधा ऊष्मा संचार होता है… और इससे महत्वपूर्ण तापीय प्रक्रियाएँ स्थिर रहती हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यह लैंप नियर-इनफ्रारेड बैंड में कार्य करता है… इसलिए फोटोरेजिस्ट ऊष्मा को प्रभावी ढंग से अवशोषित करता है… इससे रैम्प टाइम कम हो जाता है… लेकिन सब्सट्रेट पर तापीय दबाव कम ही रहता है… वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक ही रहती है… एवं प्रक्रिया की पुनरावृत्ति क्षमता भी बनी रहती है… क्लीनरूम के मानकों का भी ध्यान रखा गया है… क्लास 1–100 मानकों के अनुरूप सामग्रियों का उपयोग किया गया है… गैस उत्सर्जन भी नहीं होता… एवं कणों से बचने हेतु विशेष डिज़ाइन भी अपनाया गया है… यह सिस्टम 24/7 कार्य करता है… इसलिए कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं होती।
व्यावहारिक रूप से यह कैसे काम करता है?
वेफरों को सूखाने की प्रक्रिया में, एनआईआर तरंगें सतह पर मौजूद नमी को बिना किसी दबाव के ही हटा देती हैं… “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में, विलायक साफ़ तरीके से वाष्पीकृत हो जाते हैं… जिससे चिपों का आपसी चिपकना बेहतर हो जाता है… “हार्ड बेक” एवं फोटोरेजिस्ट को सूखाने की प्रक्रिया में, तापमान को सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है… जिससे चिपों की गुणवत्ता बेहतर रहती है… एवं पुनर्निर्माण की आवश्यकता भी कम हो जाती है… इसका परिणाम है – सुसंगत उत्पादन, कम चक्र समय, एवं प्रति वेफर कम ऊर्जा खपत… क्योंकि ऊष्मा ठीक वहीं जाती है, जहाँ उसकी आवश्यकता है।
क्या ध्यान में रखना आवश्यक है?
एनआईआर तरंगें तेज़ी से ऊष्मा पहुँचाती हैं… इसलिए थर्मल कपलिंग एवं चक की स्थिति महत्वपूर्ण है… हम उपयुक्त थर्मल इंटरफेस किट भी प्रदान करते हैं… एवं पायरोमीटर को त्रैमासिक रूप से कैलिब्रेट करने की सलाह देते हैं… ताकि सटीकता बनी रहे… यह लैंप मानक लिथोग्राफी प्लेटफॉर्मों एवं क्लीनरूम उपकरणों के साथ काम करता है… लेकिन इसके लिए 208–240 वोल्ट का विशेष सर्किट एवं उचित वेंटिलेशन व्यवस्था आवश्यक है… तापमान की स्थिरता एवं वेंटिलेशन सिस्टम इसी पर निर्भर है… एक छोटा परीक्षण जरूर करें… ताकि आपको अपनी विशिष्ट प्रक्रिया के लिए आवश्यक जानकारी मिल सके।