वेफर से नमी हटाने हेतु हीटर लैंप

Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800

फैबरिकेशन प्रक्रिया के दौरान, फोटोरेजिस्ट में या वेफर की सतह पर मौजूद नमी, एक्सपोजर के बाद वेफर के महत्वपूर्ण आयामों को नष्ट कर देती है। यदि इस नमी को हटाया न गया, तो वेफर पर दाग एवं अन्य अवशेष बन जाते हैं, जिससे पूरा वेफर नष्ट हो सकता है। इसीलिए हम वेफर से नमी हटाने हेतु हीटर लैंप का उपयोग करते हैं – यह गीले वेफरों से उत्पन्न होने वाली अस्थिरताओं को दूर करता है।

वेफर से नमी हटाने हेतु लैंप

Fri, 19 Jun 2026 01:48:15 +0800

जैसे ही वेफर रिन्सिंग प्रक्रिया से बाहर आता है, टाइमर शुरू हो जाता है। अगर कोई नमी बच जाती है, तो यह रेजिस्ट सतह पर दिखाई देती है; ऐसी स्थिति में उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। इसलिए आवश्यक है कि पानी जल्दी से हट जाए – बिना ऊष्मा-खर्च में वृद्धि किए, और बिना किसी कण के जुड़ने के।

क्या महत्वपूर्ण है?
हमने नमी हटाने हेतु ऐसा लैंप बनाया है, जिसमें क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगें उपयोग में आती हैं। रिफ्लेक्टर की व्यवस्था के कारण ऊष्मा फिल्म पर ही पड़ती है, न कि कैरियर पर। इससे प्रकाशित क्षेत्र में तापमान समान रहता है; इसलिए फोटोरेसिस्ट का तापमान निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रहता है। क्लीनरूम में इसका उपयोग संभव है – क्लास 1–100 में इसका उपयोग संभव है, क्योंकि इसमें कम गैस निकलती है, जोड़ों सील रहते हैं, एवं कणों की संख्या भी स्थिर रहती है। हजारों चक्रों में भी आउटपुट में केवल 1% की विचलन होती है; सिस्टम मिलीसेकंडों में ही सेटपॉइंट को ट्रैक करता है, ताकि महत्वपूर्ण आयाम स्थिर रहें।

नमी on Smart Infrared Heating Systems

वेफर से नमी हटाने हेतु हीटर लैंप

वेफर से नमी हटाने हेतु लैंप