Out on the line, flip chip bonding adalah proses yang rapuh ketika profil termal mulai bergeser. Satu titik panas, dan Anda bisa mengalami underfill pada bump. Satu zona dingin, dan Anda mendapatkan void. Lampu pemanas berada tepat di tengah anggaran termal, dan seiring kami terus memperkecil node, jendela proses itu terus menyempit. Kami merancang lampu pemanas flip chip bonding kami untuk mencegah jendela tersebut menyusut pada kami.
Apa yang penting secara teknis
Kami menggunakan infrared gelombang pendek (NIR) melalui envelope kuarsa sehingga panas langsung terhubung ke substrat—cepat dan bersih. Di zona bonding, uniformitas tingkat wafer terjaga pada ±0,1°C, dan konsistensi antar-run tetap ketat karena output lampu dikendalikan loop tertutup berdasarkan data termokopel yang dipetakan. Kompatibilitas ruang bersih bukan sesuatu yang kami tambahkan belakangan: kami memilih material dan permukaan yang menjaga generasi partikel mendekati nol, sehingga dapat digunakan dengan nyaman di lingkungan Kelas 1–100. Sistem berjalan 24/7 dengan interval pemeliharaan yang dapat diprediksi, dan drift output berada di bawah 5% selama lebih dari 5.000 jam.
Mengapa ini berhasil dalam praktik
Dalam flip chip bonding, diperlukan kenaikan suhu yang cepat dan terkontrol untuk melelerkan solder tanpa merusak underfill atau film low-k. Lampu ini mencapai setpoint dengan cepat, lalu mempertahankannya tanpa overshoot, sehingga siklus termal dapat diulang dan nilai Cp/Cpk tetap sesuai target. Lampu yang sama juga digunakan untuk langkah-langkah berdekatan—soft bake dan hard bake photoresist—di mana presisi suhu melindungi kontrol lebar garis dan mengurangi efek skin. Hasilnya: lebih sedikit lot yang harus dikerjakan ulang, hasil produksi yang stabil, dan energi yang lebih rendah per unit yang diproses.
Berikut adalah rincian praktisnya
Lampu ini dapat dipasang ke dalam bonder standar dan modul oven, tetapi antarmuka termal harus sesuai dengan jalur panas alat. Anda membutuhkan periode commissioning singkat untuk menyelaraskan peta lampu dengan peta stage. Dan meskipun NIR memberikan respons cepat, penyelarasan reflektor sangat sensitif—perlakukan ini sebagai variabel yang dikendalikan selama setup, dan kunci ke dalam jadwal pemeliharaan preventif.