http://smart-ir-heater.com/id/tags/akurasi/ Recent content in Akurasi on Smart Infrared Heating Systems Hugo id Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/id/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/id/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Sensor IR berkeakuratan tinggi untuk wafer"></p> <p>Di lini produksi litografi, proses “bake” bukanlah sekadar proses pemanasan saja. Itu merupakan tahap yang penting dalam proses pembuatan chip. Perubahan suhu sebesar 2°C selama proses “soft bake” dapat mengubah nilai Tg dari bahan fotoresist. Selain itu, ketidakteraturan suhu selama proses “hard bake” juga dapat <a href="https://henruite.com">menyebabkan</a> masalah seperti gangguan pada bentuk tepi dan lebar garis pada chip yang dihasilkan. Oleh karena itu, diperlukan kontrol suhu yang akurat, bukan sekadar perkiraan semata.</p> <p><strong>Yang penting secara teknis:</strong> Kami menggunakan sensor IR yang sangat presisi untuk memastikan bahwa suhu permukaan wafer tetap stabil dalam rentang ±0,1°C. Tingkat repetibilitasnya pun mencapai ±0,05°C antar batch produksi. Sensor ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dan mampu menghasilkan sinyal NIR yang stabil tanpa adanya titik panas. Emitter <a href="https://o-yate.com">berbahan</a> kuarsa/halogen digunakan untuk menghasilkan sinyal NIR yang stabil, tanpa adanya gangguan.</p>