Lampu pemanas untuk menghilangkan kelembapan pada wafer
Di lantai pabrik, kelembapan yang tertahan—baik di dalam bahan fotoresist maupun di permukaan wafer itu sendiri—akan merusak dimensi-dimensi penting...
Lampu untuk menghilangkan kelembapan pada wafer
Di tahap ini, wafer dikeluarkan dari cairan pembersih, dan jam mulai berdetik. Kelembapan yang masih tersisa akan menyebabkan masalah seperti adanya...