Sensor on Smart Infrared Heating Systems

Sensor suhu untuk alat pemrosesan wafer

Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800

Hentikan “hujan kaca”: Jaga kebersihan wafer saat lampu rusak
Di pabrik semikonduktor, kerusakan pada lampu bukanlah masalah sepele. Ini merupakan bencana yang serius. Ketika tabung inframerah pecah akibat beban berat, Anda tidak hanya menghadapi masalah downtime saja, tetapi juga serpihan kaca dan gas halojen yang berserakan di permukaan wafer.

Kami merancang lampu inframerah ini sedemikian rupa agar hal tersebut tidak terjadi.

Mencegah kekacauan akibat pecahan kaca
Kami menggunakan kuarsa sintetis berkualitas tinggi sebagai bahan dasar lampu ini. Kuarsa tersebut sangat kuat, sehingga mampu menahan tekanan akibat proses pemanasan dan pendinginan yang cepat. Namun, kami tidak berhenti sampai di situ. Untuk mencegah situasi di mana kaca pecah, kami menambahkan lapisan pelindung yang tahan pecah. Lapisan ini berfungsi seperti jaring pengaman; jika filamen lampu rusak dan kacanya pecah, lapisan pelindung ini akan menahan serpihan kaca tersebut, sehingga kaca tidak jatuh ke permukaan silikon.

Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS

Sun, 19 Jul 2026 07:51:26 +0800

Saat Anda membersihkan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan kimia, Anda berada di situasi yang sangat berisiko. Anda membutuhkan panas yang tinggi untuk menyelesaikan pekerjaan tersebut, tetapi hal ini dilakukan tepat di dekat zat-zat pelarut yang mudah terbakar. Sedikit saja kesalahan, maka Anda akan menghadapi masalah serius.

Itulah mengapa kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi pendek. Lampu ini menghasilkan panas yang intens dalam waktu singkat, sehingga cairan yang ada pada wafer dapat dikeringkan sebelum substratnya menjadi terlalu panas.

Kemasan sensor cerdas berbasis inframerah

Sat, 18 Jul 2026 01:29:26 +0800

Mendapatkan Data Termal yang Akurat di Pabrik Canggih
Jika Anda berencana membangun pabrik tipe Industry 4.0, Anda pasti menyadari bahwa cara lama, yaitu sekadar menaikkan suhu, sudah tidak efektif lagi. Anda membutuhkan sistem yang dapat memberikan informasi yang akurat mengenai apa yang sedang terjadi.

Kami menggunakan sistem inframerah yang dilengkapi dengan sensor cerdas untuk mengubah panas mentah menjadi data yang bisa digunakan. Tujuannya bukan sekadar membuat suatu komponen menjadi panas, tetapi juga untuk melihat peta termal seluruh proses produksi secara real-time.

Pemanas untuk pembuatan sensor hidrogen

Thu, 16 Jul 2026 01:13:08 +0800

Hentikan Pemborosan Energi Panas di Pabrik Pembuatan Sensor Hidrogen Anda

Saat memproduksi sensor hidrogen, profil suhu pada wafer perlu dikendalikan dengan presisi yang tinggi. Tidak boleh ada kesalahan dalam pengukuran suhu tersebut. Untuk mencapai hal ini, kami menggunakan lampu pemanas khusus serta reflektor berlapis emas.

Tujuannya sangat sederhana: kami ingin setiap watt energi yang digunakan benar-benar sampai ke permukaan wafer, bukan hilang ke udara.

Mengapa Emas?

Kebanyakan orang menggunakan reflektor berbahan aluminium. Namun, masalahnya adalah reflektor jenis ini menyerap dan menyebarkan terlalu banyak energi. Kami beralih ke reflektor berlapis emas, karena emas memiliki kemampuan luar biasa dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan demikian, panas yang dihasilkan oleh pemanas tidak diserap oleh reflektor, melainkan dipantulkan kembali ke wafer. Hal ini membuat titik fokusnya lebih jelas, dan suhu di seluruh permukaan wafer menjadi lebih konsisten. Cara ini jauh lebih efektif.

Sensor IR berkeakuratan tinggi untuk wafer

Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800

Di lini produksi litografi, proses “bake” bukanlah sekadar proses pemanasan saja. Itu merupakan tahap yang penting dalam proses pembuatan chip. Perubahan suhu sebesar 2°C selama proses “soft bake” dapat mengubah nilai Tg dari bahan fotoresist. Selain itu, ketidakteraturan suhu selama proses “hard bake” juga dapat menyebabkan masalah seperti gangguan pada bentuk tepi dan lebar garis pada chip yang dihasilkan. Oleh karena itu, diperlukan kontrol suhu yang akurat, bukan sekadar perkiraan semata.

Yang penting secara teknis: Kami menggunakan sensor IR yang sangat presisi untuk memastikan bahwa suhu permukaan wafer tetap stabil dalam rentang ±0,1°C. Tingkat repetibilitasnya pun mencapai ±0,05°C antar batch produksi. Sensor ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dan mampu menghasilkan sinyal NIR yang stabil tanpa adanya titik panas. Emitter berbahan kuarsa/halogen digunakan untuk menghasilkan sinyal NIR yang stabil, tanpa adanya gangguan.