Pannello riscaldante a infrarossi in ceramica

Wed, 10 Jun 2026 01:21:09 +0800

Sulla fabbrica, l’uniformità della temperatura non è una metrica da inseguire: è la sottile linea di demarcazione tra produrre die conformi e generare scarti. Una variazione di 1°C sul wafer durante la cottura del fotoresist può spostare le dimensioni delle linee al punto che l’errore si trascina fino al test finale. Abbiamo progettato il nostro Pannello riscaldante a infrarossi in ceramica per eliminare questo rischio.

Cosa conta, dal punto di vista tecnico
Il pannello utilizza emettitori a infrarossi ceramici con risposta a onde corte, garantendo un riscaldamento rapido e a accoppiamento diretto senza ritardi termici significativi. Sulla superficie attiva, manteniamo l’uniformità a livello wafer a ±0,1°C e la ripetibilità del setpoint resta all’interno dello stesso intervallo. La piastra frontale è progettata per ambienti cleanroom di Classe 1–100, con materiali a basso outgassing e una costruzione sigillata che mantiene la generazione di particelle a zero in condizioni stazionarie. Il controllo è in anello chiuso e la compensazione multi-zona appiattisce i gradienti termici che la geometria dello strumento tende a generare.

Pannello on Smart Infrared Heating Systems

Pannello riscaldante a infrarossi in ceramica