http://smart-ir-heater.com/ja/tags/%E3%81%99%E3%81%99%E3%81%90/ Recent content in すすぐ on Smart Infrared Heating Systems Hugo ja Sat, 25 Jul 2026 02:07:48 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-engineering-waterproof-ir-lamps-for-rinse-cycles/ Sat, 25 Jul 2026 02:07:48 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-engineering-waterproof-ir-lamps-for-rinse-cycles/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="洗浄用防水赤外線ランプ"></p> <h1 id="シャードの発生を防ぐなぜリンスサイクルには防水型のirランプが必要なのか">シャードの発生を防ぐ：なぜリンスサイクルには<a href="https://o-yate.net">防水型</a>のIRランプが必要なのか</h1> <p>もし、リンスサイクル中にIRランプが破損した経験があるなら、どれほどひどい状況になるかよくわかるでしょう。それはまさに悪夢です。単に部品が壊れただけではなく、ウェーハ全体がガラスの破片や化学物質で覆われてしまいます。これは即座に発生する、費用のかかる二次的な汚染です。</p> http://smart-ir-heater.com/ja/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 01:03:31 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="洗浄後のランプでの速乾ウェハ"></p> <h1 id="300mmラインにおけるウェットウェーハの取り扱い">300mmラインにおけるウェットウェーハの取り扱い</h1> <p>300mmラインでは、ウェットウェーハが放置されるとラインが停止します。残留水分は、リソグラフィーに到達する前に、ストリークや粒子、歩留まりの損失を引き起こします。リンスの直後に速乾モジュールを構築し、リンスから乾燥へのハンドオフを制御された熱処理ステップに変えました。</p>