http://smart-ir-heater.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウエハー on Smart Infrared Heating Systems Hugo ja Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ウェーハオーブン用SK15赤外線ランプ"></p> <p>ファブフロアでは、どうなるかご存じでしょう：フォトレジストの焼成中に0.3°Cのドリフトが発生すると、全ロットが廃棄されることになります。ウエハーオーブン用のSK15赤外線ランプは、そのドリフトを発生源で抑えるために設計されました。熱予算に直接アプローチするため、ソフトベークおよびハードベークプロファイルは固定され、重要な寸法が管理されます。</p>