http://smart-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%A2%E3%83%AA%E3%83%96%E3%83%87%E3%83%B3/ Recent content in モリブデン on Smart Infrared Heating Systems Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 01:04:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/molybdenum-support-infrared-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:04:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/molybdenum-support-infrared-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="モリブデン支持形赤外線ランプ"></p> <p>300mmウェハの製造工程において、フォトレジストの加熱処理は、適切に熱エネルギーを利用するか、それとも無駄にしてしまうかの分かれ道です。均一性が悪いと、ウェハ全体にわたって線幅のばらつきが生じます。また、ガス放出や粒子の発生によって工程が汚染されると、再処理が必要になります。したがって、<a href="https://goldisgood.com">温度</a>を安定させておける熱源が不可欠です。そうすれば、クリーンルーム内での作業もスムーズに進みます。</p>