http://smart-ir-heater.com/ja/tags/%E3%83%AA%E3%82%BD%E3%82%B0%E3%83%A9%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%BC/ Recent content in リソグラフィー on Smart Infrared Heating Systems Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 00:58:52 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 00:58:52 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/semiconductor-lithography-oven-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="半導体リソグラフィー用オーブンランプ"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストの加熱時に0.5℃の温度変動があるだけで、ウェーハの線幅がナノメートル単位で変化してしまいます。そのため、多くのウェーハが廃棄されてしまうのです。私たちは、このような状況に対応するために、短波長の近赤外線を利用したリソグラフィー用ランプを開発しました。これにより、迅速かつ直接的な熱供給が可能となり、重要な加熱工程の安定性が保たれます。</p>