http://smart-ir-heater.com/ja/tags/%E6%B0%B4%E5%88%86/ Recent content in 水分 on Smart Infrared Heating Systems Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハ水分除去用ヒーターランプ"></p> <p>製造現場では、フォトレジスト内やウェーハ表面に残った水分が、露光後にウェーハの寸法精度を悪化させてしまいます。その水分を除去しなければ、不良品が生じ、最悪の場合は大量のウェーハが廃棄されてしまいます。だからこそ、ウェーハ内の水分を除去するためのヒーターランプが必要なのです。これにより、湿潤したウェーハによって生じるばらつきを解消できます。</p> http://smart-ir-heater.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:48:15 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハ用脱水ランプ"></p> <p>ライン上では、ウェーハが洗浄工程を経て出てきます。その時点からタイマーが動き始めます。残っている<a href="https://henruite.com">水分</a>は、レジストの不均一な硬化やブリッジ現象として現れ、それによって歩留まりが低下します。したがって、熱負荷を増やしたり、粒子が混入したりすることなく、迅速に水分を除去する必要があります。</p> <p><strong>内部で重要なのは何か</strong> 私たちが開発した水分除去ランプは、石英製のケース内に短波長の赤外線を使用しており、反射器の形状によって熱がフィルムに集中し、キャリアには当たらないようになっています。これにより、照射エリア全体で±0.1℃の温度均一性が保たれ、ソフトベイクやハードベイクの際にもレジストの温度が規定範囲内に収まります。クリーンルームでの使用に関しても問題ありません。クラス1～100の環境下での稼働が可能で、低ガス放出性能を持つハードウェアや密閉された接続部、安定した粒子数を実現しています。何千回ものサイクルを繰り返しても出力の再現性は1％以下であり、システムはミリ<a href="https://o-yate.net">秒単位</a>で設定値を追跡し、重要な寸法を安定させます。</p>