http://smart-ir-heater.com/ja/tags/%E7%94%A3%E6%A5%AD/ Recent content in 産業 on Smart Infrared Heating Systems Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 00:39:36 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/industrial-wafer-heater-factory/ Wed, 24 Jun 2026 00:39:36 +0800 http://smart-ir-heater.com/ja/posts/industrial-wafer-heater-factory/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="工業用ウェーハヒーター製造工場"></p> <p>製造現場では、焼成温度が0.5度でも変動すれば、フォトレジストのパフォーマンスが基準値から外れてしまい、結果として廃棄処分になってしまいます。ソフトベイクやハードベイク、ウェーハの乾燥処理といった工程は、単なる加熱処理に過ぎないわけではありません。これらは、線幅やプロファイルの制御、欠陥の発生を防ぐための重要な要素です。ヒーターの性能が低下すると、再作業や廃棄処分、そしてリソグラフィー装置の稼働停止といった問題が生じます。</p>