http://smart-ir-heater.com/ko/tags/%EB%B9%A0%EB%A5%B8/ Recent content in 빠른 on Smart Infrared Heating Systems Hugo ko Fri, 05 Jun 2026 01:03:31 +0800 http://smart-ir-heater.com/ko/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ Fri, 05 Jun 2026 01:03:31 +0800 http://smart-ir-heater.com/ko/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="세척 후 빠른 건조 웨이퍼 램프"></p> <h1 id="300mm-라인에서의-웨이퍼-처리">300mm 라인에서의 웨이퍼 처리</h1> <p>300mm 라인에서 젖어 있는 웨이퍼는 라인 정지입니다. 남아있는 수분은 스트라이프, 입자 및 리소그래피에 도달하기도 전에 수율 손실을 초래합니다. 우리는 세척 후 빠른 건조 모듈을 구축하여 세척에서 건조로의 전환을 통제된 열 단계로 전환하였습니다. 이는 운에 맡기는 것이 아닙니다.</p>