http://smart-ir-heater.com/ko/tags/%EC%88%98%EB%B6%84/ Recent content in 수분 on Smart Infrared Heating Systems Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="웨이퍼 수분 제거용 히터 램프"></p> <p>팹 내부에서는, 포토레지스트에 남아 있는 수분이나 웨이퍼 표면에 있는 수분이 노출 과정 이후에 웨이퍼의 치수를 망가뜨릴 수 있습니다. 이러한 수분을 제거하지 않으면 얼룩이 생기거나 에칭 잔여물이 남아서 전체 웨이퍼가 버려질 수도 있습니다. 그래서 우리는 웨이퍼의 수분을 제거하는 히터를 사용합니다. 이 히터는 젖은 웨이퍼로 인해 발생하는 변동성을 줄여줍니다.</p> http://smart-ir-heater.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:48:15 +0800 http://smart-ir-heater.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="와이퍼 수분 제거 램프"></p> <p>반도체 웨이퍼가 세척 과정을 거친 후에는 계측이 시작됩니다. 남아 있는 수분은 포토레지스트의 성능에 악영향을 미치거나, 웨이퍼의 품질을 저하시킬 수 있습니다. 따라서 물기를 신속하게 제거해주는 공정이 필요합니다. 이때 열에너지를 낭비하거나 불순물이 생성되어서는 안 됩니다.</p>