오븐 on Smart Infrared Heating Systems

클린룸 오븐 적외선 히터

Tue, 28 Jul 2026 02:32:29 +0800

일반적인 대류식 오븐을 생각해보세요. 이 오븐은 공기뿐만 아니라 랙이나 외벽까지 모든 것을 가열합니다. 반도체 클린룸에서는 이것이 문제가 됩니다. 작업자들이 오븐에 닿기만 해도 화상을 입을 수 있으며, 굳이 뜨거워질 필요가 없는 금속 벽까지 가열하는 데 엄청난 에너지가 낭비됩니다.

와이퍼 건조 오븐의 가열 소자

Wed, 08 Jul 2026 04:54:54 +0800

서론
우리가 이 적외선 가열 요소를 만든 이유는 단 하나입니다. 바로 반도체 웨이퍼 건조 오븐에 사용되는 원래의 부품을 대체할 수 있는 고효율적인 솔루션을 제공하기 위함입니다.
국제적으로 유명한 제품들에 비싼 비용을 지불하는 것에 지쳤다면, 동일한 성능을 갖춘 저렴한 대안을 원한다면 이 제품이 정답입니다. 이 제품은 정확하고 빠른 건조를 위해 필요한 열을 제공하도록 설계되었으며, 그 과정에서 과도한 비용은 들지 않습니다.

반도체 리소그래피용 오븐 램프

Thu, 25 Jun 2026 00:58:52 +0800

제조 현장에서는, 포토레지스트를 가열할 때 온도가 0.5°C만 변해도 회로선의 굵기가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 그래서 많은 제품들이 폐기되고 맙니다. 우리는 이러한 상황을 고려하여, 짧은 파장의 근적외선을 사용하는 리소그래피 오븐 램프를 개발했습니다. 이를 통해 신속하고 직접적인 열전달이 이루어져, 중요한 열 처리 과정이 안정적으로 유지됩니다.

웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프

Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800

현장에서는 사진감광액 베이크 중 0.3°C의 온도 변동만으로도 전체 로트가 폐기될 수 있다는 것을 잘 알고 있습니다. 웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프는 바로 그 온도 변동이 시작되는 지점을 차단하기 위해 설계되었습니다. 열 예산을 직접적으로 제어하여 소프트 베이크와 하드 베이크 프로파일이 안정적으로 유지되고, 중요한 치수가 정확하게 관리됩니다.
기술적으로 중요한 사항
SK15는 단파장 NIR 방식을 사용하여 빠르고 입체적인 가열을 제공하며, 열 관성도 낮습니다. 웨이퍼 평면 전역에서 ±0.1°C 내 균일성이 유지되며, 샷 간 반복성도 우수합니다. 방출기는 오염 없이 청결을 유지하며, 입자 생성이나 가스 배출이 없어 클린룸 Class 1–100의 기준을 준수합니다. 출력은 5,000시간 이상 사용 시 5% 미만의 감소율로 안정적으로 유지되며, 램프 크기는 표준 오븐 포트에 맞춰 설계되어 견고하고 반복 가능한 장착이 가능합니다.
웨이퍼 오븐은 빠르게 도달하고 빠르게 안정화되며 잔류 열이 없도록 하는 열원이 필요합니다. SK15는 챔버를 설정 온도에 정확히 유지하며 초과 상승 없이 가열 및 안정화 시간을 단축합니다. 그 결과 처리량 증가, 재작업 로트 감소, 폐기물 감소를 기대할 수 있습니다.
사진감광액 베이크 프로파일은 로트와 교대가 바뀌어도 일관되게 유지되어, 옵셋 및 CD 균일성에 기여합니다. 또한 가열 속도가 빠르고 유지 온도가 안정적이므로 에너지 사용 역시 감소하여 웨이퍼당 운영 비용이 절감됩니다.
유의할 점 두 가지를 말씀드리면, SK15는 대부분의 웨이퍼 오븐 플랫폼과 호환되지만 오븐 구조, 반사판 배열, 공기 흐름이 최종 균일성에 영향을 미칩니다. PID 조정과 감광액 적층에 맞는 베이크 프로파일 확인을 위해 짧은 시운전을 계획하는 것이 좋습니다. 초기 설정에 다소 시간이 소요되지만 이후에는 최소한의 유지보수로 안정적인 성능을 유지할 수 있습니다.