http://smart-ir-heater.com/ko/tags/%EC%A0%95%EB%B0%80%EB%8F%84/ Recent content in 정밀도 on Smart Infrared Heating Systems Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="웨이퍼용 고정밀 IR 센서"></p> <p>리소그래피 공정에서의 베이킹은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 그것은 실제적인 공정의 일부입니다.<br> 소프트 베이킹 시에 2°C만큼의 온도 변화가 생기면 포토레지스트의 Tg 값이 변하게 되며, 하드 베이킹 시에는 불균일성으로 인해 가장자리나 선의 굵기에 문제가 생길 수 있습니다. 따라서 신뢰할 수 있는 온도 제어가 필요합니다.</p>