http://smart-ir-heater.com/ko/tags/%EC%B4%89%EB%A7%A4/ Recent content in 촉매 on Smart Infrared Heating Systems Hugo ko Sun, 31 May 2026 02:16:14 +0800 http://smart-ir-heater.com/ko/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ Sun, 31 May 2026 02:16:14 +0800 http://smart-ir-heater.com/ko/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="연료 전지 촉매 건조 램프"></p> <p>라인에서는 드리프트가 허용되지 않는다.<br> 웨이퍼의 열 예산은 리소그래피와 포토레지스트 공정을 통해 초 단위와 온도 단위로 측정된다. 연료전지 스택의 촉매층도 마찬가지로 얇고 민감하며 균일하지 않은 건조를 허용하지 않는다. 램프 성능이 떨어지면 즉시 알 수 있다. 가장자리 비드, 접착 불량, 용매 이월, 현상 후 결함으로 이어지는 입자 발생 등이다. 대량 생산 팹에서는 이것이 곧 스크랩, 재작업, 예기치 않은 다운타임으로 이어진다.<br> 우리는 반도체 생산 환경의 현실에 맞춰 이 연료전지 촉매 건조용 램프를 설계했다. 청정실 규율과 열 반복성이 함께 작동해야 하는 환경에 적합한 근적외선(NIR) 건조 솔루션으로, Class 1–100 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 온도 제어는 희망사항이 아닌 공정 규격과 같이 동작한다.</p>