http://smart-ir-heater.com/ms/tags/ketepatan/ Recent content in Ketepatan on Smart Infrared Heating Systems Hugo ms Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/ms/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/ms/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Penderia IR yang tepat untuk wafer"></p> <p>Dalam proses litografi, proses pembakaran bukanlah sekadar langkah pemanasan sahaja; ia merupakan sebahagian daripada proses penghasilan produk tersebut. Perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pembakaran akan mengubah nilai Tg pada bahan fotoresist. Selain itu, ketidakteraturan suhu semasa proses pembakaran akan menyebabkan masalah seperti ketidakseragaman garis tepi dan lebar garis pada permukaan wafer. Oleh itu, kawalan suhu yang tepat sangat penting, bukan sesuatu yang boleh diharapkan secara rawak.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikalnya:</strong><br> Kami menggunakan sensor IR yang tepat untuk memastikan keseragaman suhu pada permukaan wafer pada tahap ±0.1°C. Ketepatan ini dapat dicapai dalam setiap proses pembakaran, dengan variasi yang tidak melebihi ±0.05°C antara setiap kumpulan wafer yang diproses. Sensor ini juga direka agar sesuai digunakan dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100, dan ia mampu menghasilkan isyarat NIR yang stabil tanpa adanya titik panas.</p>