Waarom we overstappen op IR-verwarming van wafers
Laten we eerlijk zijn: ouderwetse convectieovens zijn een nachtmerrie. Ze zijn traag, enorm groot en verbruiken veel energie om de lucht en de metalen wanden van de oven op temperatuur te brengen, voordat ze zelfs maar in contact komen met de wafer.
Daarom zien we dat iedereen overstapt op infraroodverwarming. Het is gewoon logischer. In plaats van de hele ruimte op te warmen, wordt de ondergrond rechtstreeks verwarmd.
Het wachten beëindigen
Denk eens na over hoe standaarddroging werkt. Je moet namelijk wachten tot de hete lucht zijn werk doet. Dat duurt eeuwen.
Met infraroodverwarming gebruiken we elektromagnetische straling om de moleculen in het laagsysteem van de wafer in beweging te brengen. We gebruiken kortegolflengte-infrarood, omdat dit bijna onmiddellijk in de oppervlakteschillen doordringt. Het beste deel? Je hoeft geen loodhoudende stabilisatoren of schadelijke oplosmiddelen meer te gebruiken; deze hebben meestal urenlang hoge hitte nodig om te verdwijnen. Het is sneller en beter voor het milieu.
Energie zonder verspilling
We zetten deze lampen in zodat er een hoge energiedichtheid ontstaat. Waarom? Omdat we de energie precies daar willen hebben waar het nodig is.
Hierdoor duurt het slechts enkele seconden voordat de wafer de juiste temperatuur heeft bereikt. Je hoeft geen enorme oven een uur lang te laten draaien terwijl je wacht tot alles op temperatuur is. Je zet de schakelaar om, de wafer bereikt de gewenste temperatuur en dat is het. Eenvoudig.
Het lastige aspect: thermische spanning
Het is natuurlijk niet allemaal magie. Hoge intensiteit van infraroodstraling is krachtig – misschien zelfs te krachtig als je niet goed oplet.
Als je de hitte te snel verhoogt, kun je problemen krijgen. Er is dan kans dat de wafer vervormt of, erger nog, dat de ondergrond helemaal barst. Het is een kwestie van balans. Je moet de vermogenssterkte en de afstand tussen de lamp en de wafer precies goed instellen, zodat er geen hete plekken ontstaan.
Het proces vereenvoudigen
Het grote voordeel van infraroodverwarming is dat het een “droog” proces is. Er zijn geen brandgassen of gevaarlijke dampen die zich in het laboratorium verspreiden. Bovendien werkt het gemakkelijk samen met vacuüm- of inertgastoevoer. Voor bedrijven die willen voldoen aan milieunormen of regels rondom het gebruik van loodvrije materialen, is dit de perfecte oplossing. Het is een simpele vervanging voor die oude, energieverslindende thermische systemen die eigenlijk in een museum thuishoren.