Oven on Smart Infrared Heating Systems

Oven voor schone ruimten infraroodverwarmer

Tue, 28 Jul 2026 02:32:30 +0800

Denk eens aan een gewone convectieoven. Die verwarmt alles: de lucht, de rekken en zelfs de buitenmuren. In een schone ruimte voor halfgeleiders is dit echter een probleem. Er zijn mensen die rondlopen en die zich kunnen branden als ze per ongeluk tegen het apparaat stoten. Bovendien wordt er veel energie verspild aan het verwarmen van metalen muren die helemaal niet zo heet hoeven te zijn.

Wij hebben een betere oplossing gevonden: richtingsgebonden infraroodverwarming.

Het trucje is dat infraroodlampen straling uitstralen in een rechte lijn. De warmte bereikt dus rechtstreeks het te bewerken object. Door reflectoren te gebruiken om de warmte precies waar nodig te richten, kan het midden van de ruimte erg heet blijven, terwijl de wanden koel blijven.

Verwarmings element van droogoven voor wijzen

Wed, 08 Jul 2026 04:54:54 +0800

Inleiding
We hebben dit infraroodverwarmingselement ontworpen om één simpele reden: om u een directe, hoogwaardige vervanging te bieden voor de originele onderdelen die worden gebruikt in ovens voor het drogen van halfgeleiderchips.
Als u het zat bent om veel geld uit te geven aan internationale apparatuur en gewoon een oplossing wilt die dezelfde kwaliteit levert, dan is dit het antwoord. Het element is ontworpen om de benodigde warmte te leveren voor een precieze en snelle droogingsprocedure – zonder de hoge prijs.

Halbleiderlithografielamp

Thu, 25 Jun 2026 00:58:52 +0800

Op de productieafdeling kan een verschil van 0,5°C in de temperatuur tijdens het verhitten van de fotoresist ertoe leiden dat de breedte van de lijnen enkele nanometers verandert. Hierdoor moet veel materiaal worden weggegooid. We hebben onze lithografielamp ontworpen om rekening te houden met deze situatie: hij maakt gebruik van kortegolfdicht infraroodlicht om snel en effectief warmte over te dragen, zodat de cruciale thermische processen stabiel blijven.

Wat technisch gezien belangrijk is: De lamp werkt in het nabije infraroodgebied, zodat de fotoresist de warmte efficiënt kan opnemen. Hierdoor neemt de tijd die nodig is om de temperatuur te verhogen af, terwijl het substraat toch minimaal wordt belast. Op het oppervlak van de wafer blijft de uniformiteit rond de ±0,1°C, en dankzij de nauwkeurige temperatuurmetingen kan de kwaliteit van het product behouden blijven. De compatibiliteit met schone ruimtes mag ook niet worden verwaarloosd: materialen die voldoen aan de standaarden van klasse 1–100, nul uitstoot van gassen, en een ontwerp dat vuil tegenhoudt, zorgen ervoor dat de kwaliteit op peil blijft. Het systeem kan 24/7 draaien, met regelmatige onderhoudsintervallen, zodat er geen onverwachte stilstand optreedt.

SK15 infraroodlamp voor waferoven

Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800

Out on the fab floor, je weet hoe het gaat: een drift van 0,3°C tijdens de photoresist bake is genoeg om een hele batch af te keuren. De SK15 infraroodlamp voor wafer ovens is ontworpen om die drift bij de bron te stoppen. Hij richt zich rechtstreeks op het thermische budget, waardoor soft bake- en hard bake-profielen behouden blijven en kritische afmetingen onder controle blijven.

Wat technisch van belang is
De SK15 maakt gebruik van kortgolvige NIR, waardoor snelle, volumetrische verwarming met lage thermische traagheid wordt gerealiseerd. Over het waferoppervlak blijft de uniformiteit ±0,1°C, en de reproduceerbaarheid is schot-voor-schot. De emitter blijft schoon—geen deeltjesvorming, geen uitgassing—waardoor voldaan wordt aan de vereisten van cleanroom klasse 1–100. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur met minder dan 5% vermogensverlies, en de lampvoet is compatibel met standaard ovenpoorten met een bevestiging die veilig en reproduceerbaar is.