http://smart-ir-heater.com/nl/tags/precisie/ Recent content in Precisie on Smart Infrared Heating Systems Hugo nl Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/nl/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/nl/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Precisie IR sensor voor wafer"></p> <p>Op de lithografieafdeling is het ‘bake-proces’ geen soort opwarmingsproces; het is juist het eigenlijke proces waarbij de <a href="https://o-yate.com">fotoresist</a> wordt verwerkt. Een verschil van 2°C tijdens het zachte bakken kan leiden tot een verandering in de Tg-waarde van de fotoresist. Bovendien kan ongelijkmatigheid tijdens het harde bakken leiden tot problemen als oneffenheden aan de randen en afwijkingen in de dikte van de lijnen. Je hebt dus temperatuurcontrole nodig die betrouwbaar is, en niet zoiets waar je maar op moet hopen.</p>