Sensor on Smart Infrared Heating Systems

Temperatuursensor voor wafer hulpmiddel

Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800

Stop de ‘glasregen’: houd je wafers schoon wanneer lampen uitvallen

In een halfgeleiderfabriek is het uitvallen van een lamp geen klein probleem. Het is een nachtmerrie. Als een infraroodbuis onder zware belasting kapotgaat, moet je niet alleen om stilstand vrezen – je hebt ook te maken met kwartsdeeltjes en halogengas dat over de oppervlakken van je wafers wordt gespoten.

Wij hebben onze IR-lampen speciaal ontworpen om dit te voorkomen.

Het voorkomen van chaos
We beginnen met synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Dit materiaal is sterk, waardoor het goed kan omgaan met de schokken die optreden bij snelle opwarming en afkoeling. Maar daar houden we het niet bij.

HEATER VOOR HET DROGEN VAN MEMS SENSORMONSTERS

Sun, 19 Jul 2026 07:51:28 +0800

Wanneer je MEMS-sensoren na een chemische reiniging droogt, loop je op een dunne lijn. Je hebt heette nodig om het proces te laten slagen, maar dit gebeurt vlak naast brandbare oplosmiddelen. Eén verkeerde beweging en je hebt serieus problemen.

Daarom gebruiken we korte-golf infraroodlampen. Ze zenden een snelle, krachtige golf van hitte uit, waardoor het vocht op de schijven meteen verdampt, nog voordat de rest van het ondergrondmateriaal überhaupt de kans krijgt om oververhit te raken.

Slimme sensorenverpakking infrarood

Sat, 18 Jul 2026 01:29:26 +0800

Je thermische gegevens goed monitoren in een slimme fabriek

Als je een Industry 4.0-fabriek plant, beseft je waarschijnlijk al dat de oude manier van gewoon “de hitte opdrijven” niet meer voldoende is. Je hebt een systeem nodig dat je daadwerkelijk vertelt wat er gebeurt.
Wij gebruiken infraroodsystemen met slimme sensoren om ruwe warmte om te zetten in bruikbare gegevens. Het gaat er niet alleen om een onderdeel op tewarmen; het gaat erom het volledige thermische beeld van je productielijn te zien terwijl deze daadwerkelijk in bedrijf is.

Heater voor de fabricage van waterstofsenoren

Thu, 16 Jul 2026 01:13:09 +0800

Stop met het verspillen van warmte in uw waterstofsensorfabriek

Bij het maken van waterstofsensooren moet de warmtetoevoer op het substraat precies op het juiste niveau zijn. Er mag geen sprake zijn van gokken. Om dit te bereiken, gebruiken we gespecialiseerde verlichtingsapparaten en reflectoren die bedekt zijn met goud.

Het doel is eenvoudig: we willen dat elke watt aan energie die op het substraat terechtkomt, niet verloren gaat in de lucht.

Waarom goud?

De meeste mensen beginnen met aluminiumreflectoren, maar dit heeft een nadeel: ze nemen veel te veel energie op en verspreiden deze ook nog eens. We hebben overgestapt op goud van hoge zuiverheid, omdat dit materiaal uitstekend is in het weerspiegelen van infraroodlicht. In plaats van dat de verlichtingsapparaat de warmte opneemt, wordt deze door het goud rechtstreeks richting het substraat gestuurd. Hierdoor ontstaat er een nauwkeuriger focuspunt en blijft de temperatuur gelijkmatig over het hele oppervlak. Het werkt gewoon beter.

Precisie IR sensor voor wafer

Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800

Op de lithografieafdeling is het ‘bake-proces’ geen soort opwarmingsproces; het is juist het eigenlijke proces waarbij de fotoresist wordt verwerkt. Een verschil van 2°C tijdens het zachte bakken kan leiden tot een verandering in de Tg-waarde van de fotoresist. Bovendien kan ongelijkmatigheid tijdens het harde bakken leiden tot problemen als oneffenheden aan de randen en afwijkingen in de dikte van de lijnen. Je hebt dus temperatuurcontrole nodig die betrouwbaar is, en niet zoiets waar je maar op moet hopen.