Na linii produkcji wilgoć, która utrzymuje się w fotorezystie lub bezpośrednio na powierzchni płytki krzemowej, może zniszczyć istotne wymiary płytki...

W fazie obróbki płytki wychodzi z stanu płukania, a zegar zaczyna odmierzać czas. Każda reszta wilgoci może powodować problemy, takie jak niechciane...