Lampa grzewcza do usuwania wilgoci z płytek krzemowych

Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800

Na linii produkcji wilgoć, która utrzymuje się w fotorezystie lub bezpośrednio na powierzchni płytki krzemowej, może zniszczyć istotne wymiary płytki po procesie ekspozycji. Jeśli nie usuniesz tej wilgoci, powstaną problemy takie jak osady i resztki po procesie etchingu, co może doprowadzić do straty całych partii produktów. Dlatego używamy specjalnej lampy do usuwania wilgoci z płytek krzemowych – ona eliminuje efekty spowodowane obecnością wilgoci na powierzchni płytki.

Co jest ważne pod względem technicznym? Ta lampa została zaprojektowana tak, aby zapewniać szybką i skuteczną termiczną reakcję. Elementy halogenowe zapewniają wysoką intensywność światła o krótkiej długości fali, dzięki czemu powierzchnia płytki szybko się nagrzewa. Tarcza z kwarcu natomiast gwarantuje czystość i stabilność parametrów, nawet przy ciągłym funkcjonowaniu lampy. Efektem jest jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki w zakresie ±0,1°C, co umożliwia powtarzalne wyniki procesów Soft Bake i Hard Bake. Kontrola temperatury jest na tyle precyzyjna, że chroni fotorezyst przed nadmiernym nagrzewaniem. Intensywność światła jest dostosowana tak, aby szybko usunąć wilgoć, bez przekroczenia ustalonej wartości.

Lampa do usuwania wilgoci z płytek krzemowych

Fri, 19 Jun 2026 01:48:15 +0800

W fazie obróbki płytki wychodzi z stanu płukania, a zegar zaczyna odmierzać czas. Każda reszta wilgoci może powodować problemy, takie jak niechciane sklejenia warstw lub pogorszenie jakości produktu, co jest nie do przyjęcia. Konieczna jest więc szybka suszenie płytki – bez nadmiernego zużywania energii czy dodawania cząstek.

Co jest najważniejsze? Nasza lampa do usuwania wilgoci wykorzystuje krótkofalowe promieniowanie podczerwone w otoczeniu kwarcowym. Dzięki temu ciepło dociera bezpośrednio do powierzchni płytki, a nie do jej elementów nośnych. To zapewnia jednolitość temperatury na całej obszarze oświetlonym – wartość ta mieści się w dopuszczalnych granicach podczas procesów suszenia. Kompatybilność z środowiskiem czystym nie stanowi problemu: urządzenie może pracować w warunkach klasy 1–100 dzięki sprzętowi o niskiej emisji gazów, szczelnym połączeniom oraz stabilnym parametrom dotyczącym cząstek. Powtarzalność wyników wynosi 1% w ciągu tysięcy cykli, a system precyzyjnie reguluje temperaturę, aby utrzymać stałe wymiary płytki.

Wyjęcie on Smart Infrared Heating Systems

Lampa grzewcza do usuwania wilgoci z płytek krzemowych

Lampa do usuwania wilgoci z płytek krzemowych