Por que estamos migrando para o aquecimento por radar infravermelho
Sejamos honestos: os fornos convencionais são ineficientes. Eles são lentos, volumosos e desperdiçam muita energia apenas para aquecer o ar e as paredes metálicas do equipamento, antes mesmo de poderem aquecer a wafer.
É por isso que todos estão passando a usar o aquecimento por radar infravermelho. É muito mais eficiente. Em vez de aquecer todo o ambiente, o calor atinge diretamente a superfície da wafer.
Acabando com a espera
Pense em como funciona o processo de secagem tradicional. Você precisa esperar que o ar quente faça o trabalho. Isso leva horas.
Com o uso de radiação infravermelha, utilizamos radiação eletromagnética para fazer com que as moléculas na camada de revestimento da wafer se movam. Usamos ondas curtas de infravermelho, pois elas penetram nas camadas superficiais quase instantaneamente. O melhor de tudo é que não precisamos mais usar estabilizantes à base de chumbo ou solventes voláteis, que normalmente precisam de horas de aquecimento intenso para desaparecer. É mais rápido, e também é melhor para o planeta.
Energia sem desperdícios
Configuramos essas lâmpadas para fornecer alta densidade de energia. Por quê? Porque queremos que a energia seja concentrada exatamente onde é necessário.
Isso transforma um processo que levaria minutos em alguns segundos. Não há necessidade de deixar o forno ligado por horas enquanto se espera que tudo esquente. Basta acionar o interruptor, a wafer atinge a temperatura desejada, e pronto. Simples.
O desafio: estresse térmico
Mas não é tudo perfeito. A radiação infravermelha de alta intensidade é poderosa – talvez até demais, se não se tiver cuidado.
Se você aumentar muito a temperatura, pode causar problemas. Há risco de deformação da wafer ou, pior ainda, de rachaduras na superfície da wafer. É preciso equilibrar a potência e a distância entre a lâmpada e a wafer, para evitar pontos quentes excessivos.
Simplificando o processo
A verdadeira vantagem é que o uso de radiação infravermelha permite um processo “seco”. Não há gases de combustão, nem vapores perigosos no laboratório. Além disso, esse método funciona bem com sistemas de vácuo ou gás inerte. Para qualquer fábrica que queira cumprir as exigências ambientais, essa é a solução ideal. É uma substituição simples para aqueles sistemas térmicos antigos e consumidores de energia, que deveriam ficar em museus.