Painel aquecedor infravermelho cerâmico

Wed, 10 Jun 2026 01:21:08 +0800

No chão de fábrica, a uniformidade de temperatura não é uma métrica que se persegue — é a linha fina entre produzir die e gerar sucata. Uma variação de 1°C na superfície da pastilha durante o bake do fotoresiste pode alterar a largura de linha o suficiente para que o erro se propague até o teste final. Desenvolvemos nosso painel cerâmico de aquecimento por infravermelho para eliminar esse risco.

O que importa, tecnicamente
O painel opera com emissores cerâmicos de infravermelho com resposta de onda curta, proporcionando aquecimento rápido e acoplado diretamente, sem muito atraso térmico. Na superfície ativa, mantemos a uniformidade a nível de pastilha em ±0,1°C, e a repetibilidade do setpoint permanece dentro dessa mesma margem. A faceplate é construída para uso em salas limpas Classe 1–100, com materiais de baixa emissão de gases e um design selado que mantém a geração de partículas zerada em estado estacionário. O controle é em malha fechada, e a compensação multi-zona reduz os gradientes térmicos que a geometria da ferramenta tende a criar.

Painel on Smart Infrared Heating Systems

Painel aquecedor infravermelho cerâmico