http://smart-ir-heater.com/ru/tags/%D0%B2%D0%BB%D0%B0%D0%B3%D0%B0/ Recent content in Влага on Smart Infrared Heating Systems Hugo ru Fri, 19 Jun 2026 01:48:15 +0800 http://smart-ir-heater.com/ru/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:48:15 +0800 http://smart-ir-heater.com/ru/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Лампа для удаления влаги с ваферов"></p> <p>На производственной линии пластинка выходит из устройства для промывки, и начинается процесс сушки. Любой оставшийся влаги приводит к появлению нежелательных эффектов в виде наличия капель воды на поверхности пленки, образования мостиков между частицами пленки или снижения качества готового продукта. Необходим этап быстрой сушки без значительного расхода энергии и без образования дополнительных частиц.</p> <p><strong>Что важно при работе устройства</strong><br> Мы разработали устройство для удаления влаги, используя коротковолновое инфракрасное излучение в кварцевом корпусе. Геометрия отражателя позволяет направлять тепло на саму пленку, а не на её подложку. Это обеспечивает точность температуры в пределах ±0,1°C на всей обрабатываемой поверхности. Таким образом температура фоторезиста остается в пределах допустимых значений во время процессов сушки. Устройство соответствует стандартам чистых комнат: используется оборудование с минимальным уровнем выделения газов, все соединения закрыты, а количество частиц в воздухе остается на стабильном уровне. Повторяемость результатов работы устройства составляет менее 1% за тысячи циклов. Система может быстро реагировать на изменения параметров, что позволяет сохранять стабильность критических размеров.</p>