Датчик on Smart Infrared Heating Systems

Датчик температуры для инструмента для работы с пластинами

Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800

Остановите «дождь из стекла»: как сохранить чистоту пластин при отказе ламп
На производстве полупроводников отказ лампы – это не просто неприятность, а настоящий кошмар. Когда инфракрасная лампа разрушается под высокой нагрузкой, возникают серьезные проблемы: осколки кварца и газ хлора попадают на поверхность пластин.

Мы разработали специальные инфракрасные лампы, чтобы этого не происходило.

Сохранение порядка внутри лампы
Для производства используется синтетический кварц высокой чистоты. Он отличается прочностью, что помогает ему выдерживать резкие перепады температур. Но мы не останавливаемся на этом. Чтобы предотвратить разрушение лампы, мы добавляем защитную оболочку или специальный слой покрытия. Это своего рода «защитный колпак». Если филамент перегорает и стекло трескается, покрытие удерживает осколки, не позволяя им попасть на поверхность пластин.

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Sun, 19 Jul 2026 07:51:17 +0800

При сушке пластин с датчиками MEMS после химической очистки необходимо быть очень осторожным. Для эффективной сушки требуется высокая температура, но при этом устройство находится рядом с легковоспламеняющимися растворителями. Одна неверная действие может привести к серьезным проблемам.

Поэтому мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Они обеспечивают быстрое и мощное нагревание пластин, что позволяет быстро выпарить жидкости, прежде чем остальная часть подложки успеет перегреться.

Борьба с опасностями

Основной риск в процессе химической очистки — это возникновение пожара. Мы не можем полагаться только на безопасность оборудования; поэтому мы используем специальные защитные конструкции. Лампы размещаются в герметичных кварцевых или сапфировых трубках. Это своего рода защитный слой, который не позволяет легковоспламеняющимся парам приближаться к горячим нитям вольфрама. Кроме того, провода также герметизируются с помощью прочных, химически стойких смол. Все это делается для того, чтобы закрыть любые возможные щели, через которые могли бы проникнуть газы.

Умная упаковка датчиков инфракрасного излучения

Sat, 18 Jul 2026 01:29:26 +0800

Как правильно получать информацию о температуре в современных производственных площадках
Если вы планируете создать производственную площадку по принципам Индустрии 4.0, вам, вероятно, уже ясно, что старый способ увеличения температуры больше не подходит. Необходима система, которая будет сообщать вам о том, что происходит на самом деле.

Мы используем инфракрасные системы, оснащенные сенсорами, чтобы превратить первичную энергию тепла в полезные данные. Речь идет не просто о нагреве детали, а о возможности отслеживания всей температурной картины на производственной линии в реальном времени.

Нагреватель для производства датчиков водорода

Thu, 16 Jul 2026 01:13:05 +0800

Прекратите терять тепло в процессе производства гидрогеновых датчиков
При изготовлении гидрогеновых датчиков критически важно, чтобы температурный режим на поверхности пластины был максимально точным. Нельзя полагаться на удачу. Для этого мы используем специальные нагревательные лампы и отражатели, покрытые золотом.

Цель проста: мы хотим, чтобы каждый ватт энергии, поступающий на подложку, не терялся в воздухе.

Почему именно золото?
Большинство людей начинают с алюминиевых отражателей, но у них есть один серьезный недостаток — они поглощают и рассеивают слишком много энергии. Мы перешли на отражатели из высокочистого золота, поскольку оно отлично отражает инфракрасное световое излучение. Вместо того чтобы нагревательное устройство поглощало тепло, золото направляет его обратно на пластину. Это позволяет достичь более точной температуры на всей поверхности пластины.

Точный инфракрасный датчик для пластин

Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800

На этапе литографии процедура выпечки не является просто способом разогрева пластины – это сам процесс обработки. Изменение температуры на 2°C во время мягкой выпечки может изменить значение Tg фоторезиста; кроме того, неравномерность температуры во время жесткой выпечки приводит к возникновению недостатков в виде избыточной толщины слоя фоторезиста и изменения ширины линий на пластине. Необходим контроль температуры, на котором можно полагаться, а не такой, который основан на удаче.

Что действительно важно с технической точки зрения: Мы используем высокоточный инфракрасный датчик, который обеспечивает стабильную температуру на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Повторяемость результатов остается в пределах ±0,05°C от партии к партии. Датчик предназначен для использования в чистых помещениях класса 1–100 и не создает никаких частиц. Кварцевый/галогеновый источник света обеспечивает стабильный и повторяемый сигнал в инфракрасном диапазоне без возникновения «горячих точек». Система позволяет контролировать температуру при выпечке фоторезиста в диапазоне от 90°C до 250°C. Система рассчитана на круглосуточную работу без перерывов.