http://smart-ir-heater.com/ru/tags/%D0%B8%D0%BA-%D0%BF%D1%80%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D0%BD%D0%B5%D0%B9/ Recent content in ИК Променей on Smart Infrared Heating Systems Hugo ru Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/ru/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/ru/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Точный инфракрасный датчик для пластин"></p> <p>На этапе литографии процедура выпечки не является просто способом разогрева пластины – это сам процесс обработки. Изменение температуры на 2°C во время мягкой выпечки может изменить значение Tg фоторезиста; кроме того, неравномерность температуры во время жесткой выпечки приводит к возникновению недостатков в виде избыточной толщины слоя фоторезиста и изменения ширины линий на пластине. Необходим контроль температуры, на котором можно полагаться, а не такой, который основан на удаче.</p> <p><strong>Что действительно важно с технической точки зрения:</strong> Мы используем высокоточный инфракрасный датчик, который обеспечивает стабильную температуру на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Повторяемость результатов остается в пределах ±0,05°C от партии к партии. Датчик предназначен для использования в чистых помещениях класса 1–100 и не создает никаких частиц. Кварцевый/галогеновый источник света обеспечивает стабильный и повторяемый сигнал в инфракрасном диапазоне без возникновения «горячих точек». Система позволяет контролировать температуру при выпечке фоторезиста в диапазоне от 90°C до 250°C. Система рассчитана на круглосуточную работу без перерывов.</p>