Кварц on Smart Infrared Heating Systems

Защитный кварцевый экран для лампы фабрикации

Sat, 18 Jul 2026 01:50:20 +0800

Как предотвратить утечку тепла в оборудовании для производства полупроводников
Проблема с высокомощными нагревательными лампами заключается в том, что они создают много тепла. При обработке пластин эта инфракрасная энергия не остается на месте – она распространяется во все стороны. Если не принять мер по контролю за этим теплом, его будет поглощать внутренняя поверхность оборудования. Вскоре корпус оборудования перегревается, что представляет опасность для операторов. Никто не хочет, чтобы оборудование было похоже на духовку снаружи.

Решение с использованием кварца
Здесь на помощь приходят защитные экраны из высокочистого кварца. Можно считать их своего рода «термическими барьерами». Кварц отлично справляется со своей функцией: он пропускает нужные длины волн инфракрасного излучения, но не позволяет теплу распространяться по всему оборудованию. Установив экран между лампой и стенками оборудования, мы фактически создаем барьер для тепла. Это позволяет направить лишнюю энергию обратно к объекту обработки. В результате тепло попадает туда, где ему и следует быть, а поверхность оборудования остается прохладной на ощупь. Это простой способ превращения хаотичного источника тепла в точно работающее устройство.

Нагревательный элемент из кварца высокой чистоты

Wed, 01 Jul 2026 06:06:37 +0800

На производственном участке важно соблюдать строгие требования к качеству. Даже небольшое отклонение температуры в пределах ±2°C в процессе предварительной обработки фотополимера может привести к изменению критических размеров деталей. Наличие частиц во время сушки также может разрушить всю партию продукции. Мы разработали нагревательные элементы из высокочистого кварца, чтобы обеспечить предсказуемое, стабильное и повторяемое тепловое поведение — особенно важно это в условиях, когда допуски к параметрам процесса минимальны.

Что имеет значение Элементы изготовлены из кварца с контролируемым содержанием OH-групп, благодаря чему уровень выделения газов остается низким в вакуумных и чистых комнатах. Быстрый отклик и высокая однородность температуры — ±0,1°C по всей активной зоне — позволяют минимизировать различия температур на поверхности пластины как в процессе предварительной, так и окончательной обработки. Температура нагревателя быстро стабилизируется, что позволяет сократить время до начала процесса без необходимости перегрева. Инфракрасное излучение остается стабильным в течение тысяч часов, что обеспечивает стабильную обработку фотополимера и сохраняет энергетические ресурсы.