Керамический крайний элемент для ИК излучателя

Mon, 13 Jul 2026 16:22:24 +0800

Почему излучатели инфракрасного света превосходят горячий воздух в процессах полупроводниковой обработки
Если вы по-прежнему используете горячий воздух для обработки полупроводниковых пластин, вы теряете слишком много времени в ожидании.
Подумайте: воздух – плохой проводник тепла. Вы тратите огромное количество энергии на нагрев большого объема газа, прежде чем тепло сможет достичь самой пластины. Этот процесс очень медленный.
Излучатели инфракрасного света меняют ситуацию: они передают энергию напрямую на поверхность пластины, без использования посредника.

Секрет керамических заглушек
При таких высоких температурах место, где электрические провода соединяются с кварцевой трубкой, может стать источником проблем. Если не быть осторожным, тепловые потери могут повредить корпус устройства или даже сжечь провода. Это не лучший вариант.
Поэтому мы используем керамические заглушки. Они служат защитным слоем, обеспечивая необходимую изоляцию и защиту от тепловых эффектов. Благодаря этому тепло остается именно там, где нужно – на поверхности излучателя, а не рядом с разъемами.

Керамическая инфракрасная нагревательная панель

Wed, 10 Jun 2026 01:21:10 +0800

На производственном полу однородность температуры — это не показатель, который вы просто контролируете, а тонкая граница между выпуском годных кристаллов и браком. Отклонение на 1°C по всему диаметру пластины во время сушки фоторезиста может привести к смещению ширины линий, и эта ошибка сохранится до финального теста. Мы разработали керамическую инфракрасную нагревательную панель, чтобы исключить этот риск.

Технически важные аспекты
Панель оснащена керамическими инфракрасными излучателями с коротковолновым откликом, что обеспечивает быстрый, прямой нагрев без значительных тепловых задержек. По всей рабочей поверхности мы обеспечиваем однородность температуры на уровне ±0,1°C, а повторяемость установки заданной температуры остается в тех же пределах. Лицевая панель рассчитана на использование в чистых помещениях класса 1–100, выполнена из материалов с низким уровнем выделения газов и имеет герметичную конструкцию, которая сводит к нулю генерацию частиц в стационарном режиме. Управление реализовано по замкнутому контуру, а многозональная компенсация сглаживает тепловые градиенты, возникающие из-за геометрии оборудования.

Керамика on Smart Infrared Heating Systems

Керамический крайний элемент для ИК излучателя

Керамическая инфракрасная нагревательная панель