http://smart-ir-heater.com/ru/tags/%D1%81%D0%BA15/ Recent content in СК15 on Smart Infrared Heating Systems Hugo ru Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/ru/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/ru/posts/sk15-infrared-lamp-for-wafer-oven/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ИК лампа SK15 для печи дисков"></p> <p>На производственном участке всё знакомо: смещение температуры на 0,3°C во время отжига фоторезиста достаточно, чтобы забраковать всю партию. Инфракрасная лампа SK15 для печей обработки подложек создана для того, чтобы предотвратить это смещение в самом начале. Она напрямую воздействует на тепловой бюджет, обеспечивая стабильность профилей мягкого и жёсткого отжига, а также контроль критических размеров.</p> <p><strong>Технические характеристики</strong></p> <p>SK15 использует коротковолновое ближнее ИК-излучение (NIR), что обеспечивает быстрый объёмный нагрев с низкой тепловой инерцией. По поверхности подложки равномерность поддерживается в пределах ±0,1°C, а повторяемость — от импульса к импульсу. Излучатель остаётся чистым — отсутствует генерация частиц и выделение газов — что позволяет соответствовать ограничениям чистого помещения класса 1–100. Выходная мощность остаётся стабильной более 5 000 часов с падением менее 5%. Размеры лампы соответствуют стандартным портам печи, а крепление обеспечивает надёжность и повторяемость установки.</p>