http://smart-ir-heater.com/th/tags/%E0%B8%84%E0%B8%A7%E0%B8%B2%E0%B8%A1%E0%B9%81%E0%B8%A1%E0%B9%88%E0%B8%99%E0%B8%A2%E0%B8%B3/ Recent content in ความแม่นยำ on Smart Infrared Heating Systems Hugo th Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/th/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/th/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="เซ็นเซอร์อินฟราเรดความแม่นยำสูงสำหรับวัสดุชนิดเวฟเลอร์"></p> <p>ในกระบวนการลิโธกราฟี การอบวัสดุไม่ใช่เพียงการอุ่นวัสดุเท่านั้น แต่เป็นขั้นตอนสำคัญในการปรับสมบัติของวัสดุด้วย หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียง 2°C ในระหว่างการอบวัสดุชนิด “soft bake” ก็จะส่งผลให้ค่า Tg ของฟอโตรีซิสเต้อ์เปลี่ยนไป ส่วนการอบวัสดุชนิด “hard bake” ก็จะทำให้เกิดความไม่สม่ำเสมอในการอบวัสดุ ซึ่งส่งผลให้เกิดปัญหาต่างๆ เช่น ความไม่สม่ำเสมอของขอบวัสดุและความหนาของเส้นที่อบได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ ไม่ใช่ระบบที่ขึ้นอยู่กับโชคชะตา</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค</strong> เราใช้เซ็นเซอร์อินฟราเรดความแม่นยำสูงเพื่อควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ทั่วพื้นผิวที่อบวัสดุ และความแม่นยำของการอบวัสดุจะอยู่ในช่วง ±0.05°C ระหว่างแต่ละครั้งที่อบวัสดุ เซ็นเซอร์นี้สามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และถูกออกแบบมาให้ไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ปริมาณแสงที่ออกมาจากเซ็นเซอร์นี้มีความสม่ำเสมอ ไม่มีจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป</p> <p>เซ็นเซอร์นี้สามารถควบคุมอุณหภูมิในการอบวัสดุได้ในช่วง 90°C ถึง 250°C โดยมีความแม่นยำสูง และระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด</p> <p><strong>เหตุผลที่ระบบนี้ได้ผลดีในโรงงานผลิต</strong> ในทางปฏิบัติ การอบวัสดุชนิด “soft bake” จะช่วยให้สมบัติของฟอโตรีซิสเต้อ์คงที่ในทุกครั้งที่อบวัสดุ ส่วนการอบวัสดุชนิด “hard bake” จะช่วยให้สมบัติของวัสดุคงที่ ไม่มีการเปลี่ยนแปลงมากเกินไป ด้วยเหตุนี้ คุณภาพของวัสดุที่อบได้จึงดีขึ้น เพราะอุณหภูมิที่ใช้ในการอบวัสดุมีความสม่ำเสมอ</p> <p>คุณจะต้องทดสอบวัสดุน้อยลง ลดของเสีย และลดเวลาในการอบวัสดุลงได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะอุณหภูมิที่ใช้ในการอบวัสดุถูกปรับให้เหมาะสมกับส่วนประกอบของฟอโตรีซิสเต้อ์ ไม่ใช่การคาดเดา</p> <p><strong>สิ่งที่คุณควรรู้จริงๆ</strong> การติดตั้งเซ็นเซอร์นี้ต้องคำนึงถึงรูปร่างของแผ่นอบวัสดุและค่าการแผ่รังสีของวัสดุด้วย เรามีชุดอุปกรณ์สำหรับการปรับเทียบเซ็นเซอร์ และรายการตรวจสอบการทำงานภายใน 30 นาที</p> <p>คุณอาจเห็นว่าเวลาในการตั้งค่าเซ็นเซอร์นั้นมากขึ้นเล็กน้อย แต่เมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว กระบวนการอบวัสดุก็จะดำเนินไปได้อย่างราบรื่น</p> <p>เพื่อให้ได้ความเสถียรสูงสุด ควรรักษาให้บริเวณเซ็นเซอร์ปราศจากสิ่งสกปรก และตรวจสอบความสะอาดของเซ็นเซอร์ในช่วงการบำรุงรักษาด้วย</p>