Yarı İşleme Süreçlerinde IR Vericilerin Neden Sıcak Havadan Daha İyi Olduğu
Eğer hâlâ derin işlemler için sıcak hava kullanıyorsanız, aslında çok fazla zaman kaybediyorsunuz demektir.
Bunu bir düşünün: Hava berbat bir ısı iletim aracıdır. Isının waferinize ulaşabilmesi için önce devasa miktarda enerji harcanması gerekiyor. Bu da oldukça yavaş bir süreçtir.
IR vericiler ise bu durumu değiştiriyor. Aradaki aracılardan kaçınıp enerjiyi doğrudan substrata yönlendiriyorlar.
Seramik Uç Kapakların Sırrı
Bu tür yüksek sıcaklıklarla uğraşırken, elektrik kablolarının kuvars tüpüne temas ettiği nokta sorun olabiliyor. Dikkatli olmazsanız, terminallerdeki ısı sızıntısı ürünün zarar görmesine neden olabilir. Bu da işlerin kötü gitmesine yol açar.
İşte bu yüzden seramik uç kapaklar kullanıyoruz. Bunlar bir koruyucu görevi görerek, gerekli yalıtımı sağlar ve ısının tam olarak istenilen yerde kalmasını sağlar. Böylece ısı, konektörlerden uzakta kalır.
Hız ve Alan Tasarrufu
Hız açısından büyük farklar vardır. IR sistemleri hedef sıcaklığa saniyeler içinde ulaşır. Sıcak hava ile ise işlemin stabil hale gelmesi için dakikalar gereklidir. Bu da daha hızlı işlemler anlamına gelir.
Ayrıca alan tasarrufu da sağlanır. Devasa fanlar ve karmaşık havalandırma sistemleri artık gerekli değildir. Yüksek güç yoğunluğu için tasarlandıkları için, ısıyı tam olarak ihtiyaç duyulan yere yönlendirebilirsiniz. Artık tüm odayı ısıtmak için enerji harcamanıza gerek yok.
Tercihler ve Kısıtlamalar (Çünkü hiçbir şey mükemmel değildir)
IR vericilerin mükemmel bir çözüm olduğunu söylemeyeceğim. Dikkat edilmesi gereken bazı hususlar vardır.
Radyasyon çok yoğun olduğu için, yansıtıcıların doğru şekilde ayarlanması gerekiyor. Eğer yanlış ayarlanırsa veya aşınırsa, waferinizde soğuk bölgeler oluşur.
Ayrıca sıcaklık çok hızlı arttığı için, kuvars ve seramik arasındaki bağlantı noktasında büyük baskı oluşur. Isıyı aniden artıramazsınız; artış hızını kontrol etmeniz gerekir. Aksi takdirde termal şok ve erken bozulma riskleri ortaya çıkar.