Kimyasal temizleme işleminden sonra MEMS sensör yongalarını kuruturken oldukça dikkatli olmak gerekiyor. İşin yapılabilmesi için yoğun ısıya ihtiyaç vardır; ancak bu işlem yanıcı çözücülerin hemen yanında gerçekleştiriliyor. Bir hata yapıldığında ciddi sorunlar ortaya çıkabilir.
Bu yüzden kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Bu lambalar, yongalara hızlı ve güçlü bir ısı vererek, substratın diğer kısımları aşırı ısınmadan önce sıvının kurumasını sağlar.
Tehlikelerle başa çıkma Kimyasal temizleme işlemlerinde en büyük endişe tabii ki yangındır. Ekipmanların “güvenli” olduğuna güvenmiyoruz; bu yüzden özel koruma önlemleri alıyoruz. Kızılötesi lambaları mühürlü kuvars veya safir tüplerin içine yerleştiriyoruz. Bunu, yanıcı buharların sıcak tungsten filamentlerinden uzak tutan bir koruyucu kabuk olarak düşünebilirsiniz. Ayrıca kabloları da kimyasallara dayanıklı reçinelerle mühürleyiyoruz. Amacımız, gazların sızabileceği her yeri kapamaktır.
Isı ve hava akışı Bu ısıtıcılar, çok belirli bir sıcaklık aralığında çalışacak şekilde tasarlanmıştır. Kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar, sıvı kalıntılarını anında buhara dönüştürür.
Ancak burada dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Güçlü bir havalandırma sisteminizin olması gerekiyor. Eğer hava akışı yetersizse, buharlaşan kimyasallar ısıtıcı içinde kalır. Buna izin vermemek gerekir.
İşlerin sorunsuz yürütülmesi Kimse, bir ampulün patlaması yüzünden kurutma odasını sökerek zaman kaybetmek istemez. Bu yüzden bu cihazları standart konektörlerle modüler şekilde tasarladık; böylece bozulan lambaların değiştirilmesi hızlı ve kolay olur.
Ayrıca güçlendirilmiş kuvars malzemeler kullanıyoruz. Bu malzemeler, hızlı ısınma ve soğuma durumlarında bile çatlamadan dayanabilir. Elektrik beslemesinin filtrelenmiş olmasına da dikkat edin. Ani voltaj dalgalanmaları, filamentlerin zarar görmesine neden olur ve bu da kimseyi mutlu etmez.