Sensör on Smart Infrared Heating Systems

Wafer aletleri için sıcaklık sensörü

Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800

Cam Parçalarının Düşmesini Önleyin: Lambalar Arızalandığında Wafерlerinizi Temiz Tutmak
Bir yarı iletken üretim tesisinde lambanın bozulması sadece bir rahatsızlık değil; tam bir felaket demektir. Kızılötesi tüp aşırı yük altında patladığında, sadece üretimin durmasını değil, aynı zamanda kuvars parçalarının ve halojen gazlarının wafер yüzeylerine saçılmasını da göze almak zorunda kalırsınız.
Biz de bunun olmaması için özel olarak IR lambaları geliştirdik.

Karmaşıklığı İçeride Tutmak
İşe yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanarak başlıyoruz. Kuvars dayanıklıdır; bu da hızlı ısılanma ve soğumanın getirdiği baskılara karşı direnmesini sağlar. Ancak burada durmadık.
“Patlama” durumunu önlemek için camın kırılmamasını sağlayacak özel kaplamalar veya koruyucular ekliyoruz. Bunu bir güvenlik ağı olarak düşünün. Eğer filament yanarsa ve cam kırılırsa, bu kaplama parçaları tutar ve camın silikon yüzeylerine düşmesini engeller.

MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı

Sun, 19 Jul 2026 07:51:23 +0800

Kimyasal temizleme işleminden sonra MEMS sensör yongalarını kuruturken oldukça dikkatli olmak gerekiyor. İşin yapılabilmesi için yoğun ısıya ihtiyaç vardır; ancak bu işlem yanıcı çözücülerin hemen yanında gerçekleştiriliyor. Bir hata yapıldığında ciddi sorunlar ortaya çıkabilir.

Bu yüzden kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Bu lambalar, yongalara hızlı ve güçlü bir ısı vererek, substratın diğer kısımları aşırı ısınmadan önce sıvının kurumasını sağlar.

Tehlikelerle başa çıkma Kimyasal temizleme işlemlerinde en büyük endişe tabii ki yangındır. Ekipmanların “güvenli” olduğuna güvenmiyoruz; bu yüzden özel koruma önlemleri alıyoruz. Kızılötesi lambaları mühürlü kuvars veya safir tüplerin içine yerleştiriyoruz. Bunu, yanıcı buharların sıcak tungsten filamentlerinden uzak tutan bir koruyucu kabuk olarak düşünebilirsiniz. Ayrıca kabloları da kimyasallara dayanıklı reçinelerle mühürleyiyoruz. Amacımız, gazların sızabileceği her yeri kapamaktır.

Akıllı sensör paketleme kızılötesi

Sat, 18 Jul 2026 01:29:26 +0800

Akıllı Fabrikalarda Termal Verileri Doğru Olarak Elde Etme
Eğer Endüstri 4.0 tarzı bir fabrika kurmayı planlıyorsanız, eski yöntemlerin artık yeterli olmadığını biliyorsunuzdur. Gerçekte neler olduğunu gösterebilen bir sisteme ihtiyacınız var.

Ham ısıyı kullanılabilir verilere dönüştürmek için akıllı sensörlere sahip kızılötesi sistemler kullanıyoruz. Buradaki amaç sadece parçaları ısıtmak değil; üretim hattının tamamının termal haritasını gerçek zamanlı olarak görebilmektir.

Neden Kızılötesi Sistemleri Kullanıyoruz?
Temiz oda veya yarı iletken üretim ortamlarında, parçalara doğrudan problarla dokunmak mümkün değildir. Böyle yaparsanız parçalar kirlenir ve ciddi sorunlar ortaya çıkar. İşte bu noktada kızılötesi sistemler devreye girer. Kızılötesi sistemler, elektromanyetik radyasyonları alıp bunları dijital sinyallere dönüştürür; parçalara hiç dokunmazlar. Bu sensörleri doğrudan PLC veya SCADA sistemlerine bağlayarak, substrat üzerindeki sıcaklık değişikliklerini gerçek zamanlı olarak izleyebilirsiniz.

Hidrojen sensörü üretimi için ısıtıcı

Thu, 16 Jul 2026 01:13:07 +0800

Hidrojen sensörleri üretirken, wafer üzerindeki ısı dağılımının mükemmel olması gerekiyor. Tahmin yapmaya gerek yok. Bunu sağlamak için özel ısıtma lambaları ve altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz.

Amaç oldukça basit: Yüzeye ulaşan her bir watt’lık enerjinin havaya karışmamasını sağlamak istiyoruz.

Neden altın? Çoğu kişi alüminyum yansıtıcılar kullanır, ancak sorun şu ki bunlar çok fazla enerjiyi emip dağıtıyorlar. Biz ise yüksek saflıkta altın kullanıyoruz; çünkü kızılötesi ışığı yansıtmada mükemmeldirler. Isıtıcı gövdesi yerine altın, ısıyı doğrudan wafer’e geri yönlendirir. Böylece daha dar bir odak noktası elde edilir ve tüm yüzeyde sabit bir sıcaklık sağlanır. Bu yöntem daha etkilidir.

Wafer için hassas IR sensörü

Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800

Litografideki pişirme işlemi, sadece bir ısınma işlemi değildir; bu aslında bir işlemdir. Yumuşak pişirme sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik, fotorezistin sıcaklık eşiğini değiştirebilir. Sert pişirme işleminde ise düzensizlikler ortaya çıkarak kenar bölgelerinde ve çizgi genişliklerinde sorunlara yol açar. Güvenebileceğiniz bir sıcaklık kontrolüne ihtiyacınız vardır; tesadüflere bırakılacak bir durum değildir.

Teknik olarak önemli olan şeyler:
Wafer üzerinde hassas bir IR sensör kullanıyoruz; bu sayede pişirme sırasında waferin tüm yüzeyinde sıcaklık farkı ±0,1°C civarında kalıyor. Üretim sürecinde tekrarlanabilirlik ise lotlar arasında ±0,05°C düzeyinde oluyor. Sensör başlığı, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır ve parça üretmemesi için özel olarak geliştirilmiştir. Kuvars/halojen emittörü sayesinde stabil ve tekrarlanabilir bir NIR sinyali elde ediliyor; ayrıca sıcak noktalar oluşmuyor.