Коли ви сушите пластини датчиків типу MEMS після хімічної обробки, ви опиняєтесь на досить критичній межі. Щоб досягти бажаного ефекту, необхідна висока температура, але це робиться прямо поруч із легкозаймистими розчинниками. Одна недбалість може призвести до серйозних проблем.
Саме тому ми використовуємо лампи короткохвильового інфрачервоного світла. Вони надають пластинам потужний наплив тепла, що дозволяє швидко висушити рідину, перш ніж решта матеріалу встигне нагрітися.
Боротьба з небезпекою
Очевидною проблемою під час хімічної обробки є загроза пожежі. Ми не покладаємося лише на безпеку обладнання – ми створюємо додаткові захисні елементи. Лампи інфрачервоного світла розміщуються всередині герметичних кварцових чи сапфірових трубок. Це своєрідна захисна оболонка, яка тримає легкозаймисті пари подалі від гарячого вольфрамового філамента. Крім того, проводку також герметизують за допомогою міцних, хімічно стійких смол. Усе це робиться для того, щоб закрити будь-які щілини, через які могли б проникнути гази.
Тепло та потік повітря
Ці нагрівачі призначені для досягнення саме певного діапазону температур. Короткохвильове інфрачервоне світло швидко перетворює рідкі залишки на пару. Але є одна умова: необхідна ефективна система відведення повітря. Якщо потік повітря слабкий, розпарені хімікати залишаються біля корпусу нагрівача. Цього допускати не можна.
Підтримка роботи обладнання
Ніхто не хоче проводити час на ремонті камери сушіння через поломку лампи. Тож ми розробили це обладнання у модульній формі зі стандартними з’єднувачами. Це дозволяє швидко та без проблем замінити зламану лампу. Ми також використовуємо посилений кварц – він може витримувати різке нагрівання та охолодження без появи тріщин. Тільки не забудьте про фільтрацію живлення. Раптові сплески напруги можуть швидко пошкодити філамент, а це серйозна проблема.