Під час процедури промивання пластинка виходить з розчину, і починає тикати таймер. Будь-яка залишкова волога призводить до утворення небажаних структур на поверхні пластинки, що може негативно вплинути на якість продукту. Тож необхіден етап швидкого висушування – без зайвого споживання енергії та утворення додаткових частинок.
Що є важливим у цьому пристрої
Наш пристрій для видалення вологи базується на короткохвильовому інфрачервоному випромінюванні, яке походить з кварцової оболонки. Геометрія відбивача забезпечує рівномірне нагрівання саме плівки, а не всієї поверхні. Це забезпечує загальну точність температури в межах ±0,1°C на всій освітленій ділянці. Таким чином температура фотополімеру залишається в заданих межах під час процедур нагрівання. Сумісність із чистими приміщеннями також є важливою характеристикою: пристрій може функціонувати в класах чистоти 1–100 завдяки обладнанню з низьким рівнем викидів газів, герметичним з’єднанням та стабільному рівню частинок у повітрі. Повторюваність результатів залишається в межах 1% протягом тисяч циклів, а система забезпечує швидку реакцію на зміни параметрів, що дозволяє підтримувати стабільність критичних розмірів.
Чому це важливо для літографії
У процесах літографії пристрій ефективно видаляє поверхневу вологу перед нанесенням фотополімеру, що допомагає уникнути проблем, пов’язаних з вологою та утворенням небажаних структур на краях пластинки. Під час процедур нагрівання пристрій забезпечує однакову температуру в одному і тому ж місці під час кожного циклу, що запобігає змінам температури. Така стабільність скорочує час на наладку обладнання, зменшує кількість необхідних корекцій та економить енергію, оскільки пристрій нагріває лише потрібну ділянку. Надійність пристрою проявляється у тривалості його роботи – пристрій може працювати понад 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%. Час між технічним обслуговуванням також збільшується, що зменшує ризики.
На що слід звернути увагу
Пристрій працює зі стандартними інтерфейсами SEMI, але під час його інтеграції необхідно звертати увагу на теплові параметри та маршрути відведення газів. Кварцова оболонка не переносить механічних ударів, тому під час обробки та монтажу необхідно дотримуватися встановлених значень крутного моменту та правил орієнтації. Також необхідно використовувати кабелі для живлення та сигналів, придатні для роботи в чистих приміщеннях, а також переконатися, що гази, які використовуються в процесі, відповідають вимогам матеріалів, які використовуються в пристрої.