http://smart-ir-heater.com/uk/tags/removal/ Recent content in Removal on Smart Infrared Heating Systems Hugo uk Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 02:31:28 +0800 http://smart-ir-heater.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Лампа для видалення вологи з ваферів"></p> <p>На поверхні пластини залишений вологий шар – чи то в самому фоторезисті, чи прямо на поверхні пластини – може зіпсувати її критичні параметри після процедури експозиції. Якщо не позбутися цього вологого шару, на поверхні утворюються небажані включення та залишки речовин, які можуть зіпсувати всю партію продукції. Саме тому ми використовуємо лампи для видалення вологи з пластини: вони усувають нерівномірності, які виникають через наявність вологи на поверхні пластини.</p> <p><strong>Що є важливим у цій лампі</strong><br> Цю лампу було створено з урахуванням можливості швидкої термічної реакції. Галогенні елементи забезпечують високу інтенсивність світіння короткохвильового світла, що дозволяє швидко нагріти поверхню пластини. Кварцовий корпус забезпечує стабільні умови навіть під час постійної роботи лампи. Результатом є термічна однорідність на поверхні пластини в межах ±0,1°C, що дозволяє досягати точних результатів під час процедур Soft Bake та Hard Bake. Контроль температури є достатньо точним, щоб захистити фоторезист від негативного впливу температури. Інтенсивність світіння налаштовується так, щоб волога швидко видалялась без перевищення необхідних значень.</p> http://smart-ir-heater.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Fri, 19 Jun 2026 01:48:15 +0800 http://smart-ir-heater.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Лампа для видалення вологи з ваферів"></p> <p>Під час процедури промивання пластинка виходить з розчину, і починає тикати таймер. Будь-яка залишкова волога призводить до утворення небажаних структур на поверхні пластинки, що може негативно вплинути на якість продукту. Тож необхіден етап швидкого висушування – без зайвого споживання енергії та утворення додаткових частинок.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому пристрої</strong><br> Наш пристрій для видалення вологи базується на короткохвильовому інфрачервоному випромінюванні, яке походить з кварцової оболонки. Геометрія відбивача забезпечує рівномірне нагрівання саме плівки, а не всієї поверхні. Це забезпечує загальну точність температури в межах ±0,1°C на всій освітленій ділянці. Таким чином температура фотополімеру залишається в заданих межах під час процедур нагрівання. Сумісність із чистими приміщеннями також є важливою характеристикою: пристрій може функціонувати в класах чистоти 1–100 завдяки обладнанню з низьким рівнем викидів газів, герметичним з’єднанням та стабільному рівню частинок у повітрі. Повторюваність результатів залишається в межах 1% протягом тисяч циклів, а система забезпечує швидку реакцію на зміни параметрів, що дозволяє підтримувати стабільність критичних розмірів.</p>