اپنے ہائڈروجن سینسرز کی تیاری میں حرارت کے ضیاع کو روکیں۔
جب ہائڈروجن سینسرز تیار کیے جاتے ہیں، تو ویفر پر پڑنے والی حرارت کی مقدار کو بالکل درست رکھنا ضروری ہے۔ اس کے لئے ہم خصوصی ہیٹنگ لیمپوں اور سونے سے بنے ریفلیکٹرز کا استعمال کرتے ہیں۔
مقصد بہت ہی سادہ ہے: ہم چاہتے ہیں کہ پاور کا ہر واٹ سبسٹریٹ پر پڑے، نہ کہ فضا میں ضائع ہو جائے۔
سونا کیوں؟
زیادہ تر لوگ الومینیم کے ریفلیکٹرز کا استعمال کرتے ہیں، لیکن ان میں بہت زیادہ توانائی جذب ہو جاتی ہے۔ ہم نے اعلیٰ خالصیت والے سونے کا استعمال کیا، کیوں کہ یہ انفراریڈ روشنی کو منعکس کرنے میں بہت مؤثر ہے۔ اس طرح ہیٹر کا حصہ حرارت کو جذب نہیں کرتا، بلکہ اسے ویفر کی جانب بھیج دیتا ہے۔ اس طرح پوری سطح پر درجہ حرارت یکساں رہتا ہے۔
پاور اور حرارت کا توازن
اگر آپ فیبریکیشن ہیٹر کا استعمال کر رہے ہیں، تو واٹج-تکنیکل-ایریا کا تناسب ہی یہ بتاتا ہے کہ آپ کتنی تیزی سے درجہ حرارت بڑھا سکتے ہیں۔ اعلیٰ واٹج والے لیمپ، پتلی فلموں کی تیاری کے لئے بہترین ہیں، لیکن اس کا ایک نقصان یہ ہے کہ جب اتنی زیادہ حرارت ایک چھوٹے سے علاقے میں پیدا ہوتی ہے، تو کولنگ سسٹم کو باقی حرارت کو سنبھالنا پڑتا ہے۔ اگر وہ ایسا نہ کر سکے، تو ٹول فریم خراب ہو جاتا ہے، جسے ٹھیک کرنا بہت مشکل ہے۔
عملی استعمال
ہم نے ایسے ہیٹرز تیار کئے ہیں جنہیں بغیر کسی تبدیلی کے استعمال کیا جا سکتا ہے۔ سونے سے بنے ریفلیکٹرز کے استعمال سے، آپ عموماً مطلوبہ درجہ حرارت حاصل کر سکتے ہیں، اور لیمپ سے کم پاور کی ضرورت پڑتی ہے۔ یہ ایک بہترین حل ہے – اس سے پاور سپلائی پر دباؤ کم ہو جاتا ہے، اور فلامنٹ بھی جلنے سے بچ جاتے ہیں۔
اگر آپ کو ویفر پر سرد جگہیں نظر آتی ہیں، یا عمل کا وقت بہت طویل ہے، تو اس کی وجہ شاید “زیادہ پاور” کی ضرورت نہیں ہے۔ عموماً یہ ریڈییشن کی وجہ سے ہوتا ہے۔ سونے سے بنے ریفلیکٹرز کے استعمال سے یہ مسئلہ حل ہو جاتا ہے۔