Khi làm khô các wafer cảm biến MEMS sau quá trình vệ sinh hóa học, bạn đang phải đối mặt với một tình huống rất nguy hiểm. Bạn cần nhiệt độ cao để hoàn thành công việc này, nhưng lại phải thực hiện công việc đó ngay bên cạnh những chất lỏng dễ cháy. Chỉ cần một sai sót nhỏ thôi cũng có thể gây ra những hậu quả nghiêm trọng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại tia ngắn. Những đèn này tạo ra luồng nhiệt mạnh, giúp làm khô chất lỏng ngay lập tức, trước khi phần còn lại của vật liệu bị quá nhiệt.
Đối phó với nguy cơ cháy nổ
Mối lo lớn nhất trong quá trình vệ sinh hóa học chính là nguy cơ cháy nổ. Chúng tôi không chỉ tin tưởng vào tính an toàn của thiết bị mà còn xây dựng thêm các lớp bảo vệ. Chúng tôi đặt các đèn hồng ngoại vào trong các ống thủy tinh hoặc sapphire được niêm phong kín. Điều này giúp ngăn chặn các chất lỏng dễ cháy tiếp xúc với sợi dây tóc nóng. Chúng tôi cũng sử dụng keo chống hóa chất để niêm phong các dây điện. Mục đích là ngăn chặn mọi khe hở mà khí có thể len lỏi vào.
Nhiệt độ và dòng khí
Các thiết bị sưởi này được thiết kế để đạt được một nhiệt độ cụ thể. Ánh sáng hồng ngoại tia ngắn có thể xuyên qua các chất lỏng, biến chúng thành hơi ngay lập tức. Đó là một công nghệ rất mạnh mẽ. Nhưng có một điểm cần lưu ý: bạn cần một hệ thống thông gió hiệu quả. Nếu dòng khí yếu, các chất hóa học đã bay hơi sẽ vẫn tồn tại xung quanh thiết bị sưởi. Bạn không thể để điều đó xảy ra.
Giữ cho thiết bị hoạt động ổn định
Không ai muốn phải mất thời gian sửa chữa thiết bị chỉ vì một bóng đèn bị hỏng. Chúng tôi thiết kế các thiết bị này sao cho có thể thay thế bóng đèn bị hỏng một cách nhanh chóng và dễ dàng. Chúng tôi cũng sử dụng thủy tinh cứng để chịu được những dao động nhiệt độ khi thiết bị được làm nóng và làm lạnh nhanh chóng. Hãy đảm bảo rằng nguồn điện cung cấp cho thiết bị được lọc kỹ lưỡng. Những dao động điện áp bất ngờ có thể làm hỏng sợi dây tóc của đèn, và đó là điều mà không ai muốn gặp phải.