Đèn Bàn on Smart Infrared Heating Systems

Đèn hồng ngoại SK15 cho lò wafer

Tue, 09 Jun 2026 00:42:53 +0800

Trên sàn sản xuất, bạn hiểu cách vận hành: một sai lệch 0,3°C trong quá trình nung photoresist đã đủ để loại bỏ toàn bộ lô hàng. Đèn hồng ngoại SK15 dành cho lò wafer được thiết kế để ngăn chặn sai lệch nhiệt độ ngay từ đầu. Nó tập trung trực tiếp vào ngân sách nhiệt, vì thế các chương trình soft bake và hard bake được duy trì ổn định, đảm bảo kích thước quan trọng ở mức kiểm soát.

Đèn gia nhiệt dán chip lật

Sat, 06 Jun 2026 00:46:38 +0800

Ra ngoài dây chuyền, việc gắn chip lật là một điệu nhảy mong manh khi hồ sơ nhiệt bắt đầu trôi dạt. Một điểm nóng, và bạn có thể làm đầy dưới một bump. Một vùng lạnh, và bạn sẽ có các khoảng trống. Đèn sưởi ngồi chính giữa trong ngân sách nhiệt, và khi chúng ta tiếp tục thu nhỏ các nút, cửa sổ quy trình đó ngày càng hẹp lại. Chúng tôi đã chế tạo đèn sưởi cho việc gắn chip lật của mình để giữ cho cửa sổ đó không bị thu hẹp.

Bánh wafer khô nhanh sau khi rửa đèn.

Fri, 05 Jun 2026 01:03:31 +0800

Trên dây chuyền 300mm, một wafer ướt nằm xung quanh là nguyên nhân dừng dây chuyền. Độ ẩm còn sót lại có nghĩa là vết streak, hạt bụi và mất năng suất ngay cả trước khi bạn đến bước lithography. Chúng tôi đã xây dựng một mô-đun sấy nhanh ngay sau bước rửa để biến chuyển giao từ rửa sang khô thành một bước nhiệt có kiểm soát, không phải là một ván cược.