Trên dây chuyền sản xuất, hơi ẩm còn sót lại trong lớp phim quang học hoặc trên bề mặt wafer sẽ gây ảnh hưởng xấu đến các kích thước quan trọng của...

Trong quá trình xử lý, tấm wafer được lấy ra khỏi môi trường ngâm rửa, và thời gian bắt đầu tính từ đây. Bất kỳ hơi ẩm nào còn sót lại đều có thể gây...