http://smart-ir-heater.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Smart Infrared Heating Systems Hugo zh Sun, 19 Jul 2026 07:51:30 +0800 http://smart-ir-heater.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 07:51:30 +0800 http://smart-ir-heater.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>在用化学溶剂清洗完MEMS传感器晶圆之后，对其进行干燥处理时，其实是在走一条极其危险的钢丝。<a href="https://o-yate.net">虽然需要高</a>温才能完成干燥过程，但操作地点却靠近易燃的溶剂。稍有不慎，就可能引发严重的问题。</p> <p>因此，我们选择使用短波红外灯。这种灯能够快速释放出大量热量，从而在基材的其他部分过热之前就能将液体迅速蒸发掉。</p>