http://smart-ir-heater.com/zh/tags/%E7%B2%BE%E7%A1%AE%E5%BA%A6/ Recent content in 精确度 on Smart Infrared Heating Systems Hugo zh Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/zh/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 03 Jul 2026 02:33:40 +0800 http://smart-ir-heater.com/zh/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="用于晶圆的精确红外传感器"></p> <p>在光刻工艺中，烘烤过程并非简单的预热步骤，而是一个至关重要的工序。如果软烘烤时的温度变化达到2°C，就会导致光阻材料的玻璃化转变温度发生改变；而硬烘烤过程中的温度不均匀性则会导致边缘尺寸和线宽出现偏差。因此，必须要有精确的温度控制机制，而不能依赖运气。</p>