http://smart-ir-heater.com/zh/tags/%E9%92%BC/ Recent content in 钼 on Smart Infrared Heating Systems Hugo zh Sat, 27 Jun 2026 01:04:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/zh/posts/molybdenum-support-infrared-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:04:53 +0800 http://smart-ir-heater.com/zh/posts/molybdenum-support-infrared-lamp/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="钼制红外灯支架"></p> <p>在300毫米光刻工艺中，光阻烘烤环节至关重要——要么合理利用热量，要么浪费掉这些热量。如果温度均匀性不佳，就会导致晶圆上各处的线宽出现差异。而如果气体释放或颗粒生成污染了<a href="https://henruite.com">工艺流程</a>，那就需要重新处理芯片。因此，需要一种能够保持稳定温度的热源，这样才能确保每次烘烤时温度都保持稳定，同时避免对洁净室环境造成影响。</p>