http://smart-ir-heater.com/zh/tags/tool/ Recent content in Tool on Smart Infrared Heating Systems Hugo zh Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800 http://smart-ir-heater.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Mon, 20 Jul 2026 08:58:08 +0800 http://smart-ir-heater.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://smart-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="晶圆加工设备用温度传感器"></p> <p><strong>阻止玻璃碎片飞溅：在灯具故障时保护晶圆免受污染</strong><br> 在半导体制造厂中，灯具发生故障绝非小事，而是一场灾难。当红外灯管在高温环境下无法正常工作时，不仅会导致生产中断，还会让石英碎片和卤素气体溅到晶圆表面。</p>