ফ্যাব ফ্লোরে, আপনি জানেন কিভাবে চলে: ফটোরেজিস্ট বেকের সময় 0.3°C পরিবর্তন একটি সম্পূর্ণ লটকে স্ক্র্যাপ করার জন্য যথেষ্ট। SK15 ইনফ্রারেড ল্যাম্প ওয়েফার ওভেনের জন্য তৈরি হয়েছে সেই পরিবর্তন শুরু হওয়ার সাথে সাথে থামানোর জন্য। এটি তাপীয় বাজেটের দিকে দ্রুত চলে, তাই সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইল লকড থাকে, এবং গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলি নিয়ন্ত্রণে থাকে।
প্রযুক্তিগতভাবে কি গুরুত্বপূর্ণ
SK15 শর্ট-ওয়েভ NIR-এর উপর নির্ভর করে, তাই আপনি দ্রুত, ভলিউমেট্রিক গরম পান কম তাপীয় জড়তা সহ। ওয়েফার প্লেনের জুড়ে, সমতার মান ±0.1°C এ থাকে, এবং পুনরাবৃত্তি শট-টু-শট। ইমিটার পরিষ্কার থাকে—কোনও কণার উত্পাদন নেই, কোনও আউটগ্যাসিং নেই—তাহলে আপনি ক্লিনরুম ক্লাস 1-100 সীমার মধ্যে থাকেন। আউটপুট 5,000+ ঘণ্টা ধরে স্থিতিশীল থাকে, 5% এর কম হ্রাস সহ, এবং ল্যাম্পের ফুটপ্রিন্ট স্ট্যান্ডার্ড ওভেন পোর্টের সাথে মেলে একটি মাউন্টের সাথে যা সুরক্ষিত এবং পুনরাবৃত্তিমূলক।
ওয়েফার ওভেনগুলিকে দ্রুত গরমের প্রয়োজন, দ্রুত স্থির হতে হয়, এবং কিছু পেছনে ছেড়ে যেতে হয় না। SK15 চেম্বারকে সেটপয়েন্টে রাখে কোনও অতিরিক্ত গরম ছাড়াই, যা ওয়ার্ম-আপ এবং স্থিতিশীলতা কমায়। এর ফলস্বরূপ উচ্চতর থ্রুপুট, কম পুনরায় কাজের লট এবং কম স্ক্র্যাপ।
ফটোরেজিস্ট প্রোফাইলগুলি লট এবং শিফট জুড়ে ধারাবাহিক থাকে, যা ওভারলে এবং CD সমতা সাহায্য করে। এবং যেহেতু র্যাম্পগুলি দ্রুত এবং হোল্ড স্থিতিশীল, শক্তি ব্যবহারে হ্রাস ঘটে—যা প্রতিটি ওয়েফারের পরিচালনার খরচ কমিয়ে আনে।
এখানে কিছু বিষয় মনে রাখার জন্য। SK15 বেশিরভাগ ওয়েফার ওভেন প্ল্যাটফর্মের সাথে কাজ করে, তবে ওভেনের জিওমেট্রি, রিফ্লেক্টর লেআউট এবং বায়ুপ্রবাহ এখনও চূড়ান্ত সমতার উপর প্রভাব ফেলে। PID টিউন করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং রান পরিকল্পনা করুন এবং নিশ্চিত করুন যে বেক প্রোফাইলটি রেজিস্ট্যাকের সাথে মেলে। আপনি সেটআপের জন্য সামান্য বেশি সময় ব্যয় করবেন, তারপর স্থিতিশীল কর্মক্ষমতায় স্থানান্তরিত হবেন ন্যূনতম রক্ষণাবেক্ষণের সাথে।