V řadě 300 mm je základem procesu vypalování fotorezisty to, zda svůj tepelný rozpočet využijete efektivně, nebo ho promarníte. Špatná rovnoměrnost se rychle projevuje v odchylkách šířky prvků na povrchu polovodičové desky. A pokud proces znečistí uvolňování plynů nebo vznik částic, bude potřeba celý proces znovu provést. Potřebujete zdroj tepla, který udržuje konstantní teplotu po celou dobu procesu, aniž by to způsobovalo problémy v čistírně.
Co je důležité v podrobnostech Používáme infračervené lampy s molybdénovými vlákny – vysoce emisní molybdénová vlákna umístěná v křemenném obalu, přizpůsobeném pro krátkovlnné infračervené záření. Spektrum této lampy odpovídá absorpci fotorezistu, takže lze rychle odstranit rozpouštědla, zatímco povrch substrátu zůstává stabilní.
V oblasti vypalování je rovnoměrnost teploty udržována v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost je lepší než ±0,2 °C mezi jednotlivými cykly. Molybdénová konstrukce udržuje svou geometrii i při vysokých teplotách, takže nevznikají žádná „horká místa“ nebo chladné okraje. Výkon lampy zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou intenzity menší než 5 %. Tělo lampy je navrženo pro provoz v čistírnách třídy 1–100 a ve stavu stálého provozu nevytváří žádné částice.
Proč je to důležité v litografii Proces měkkého a tvrdého vypalování určuje kritické rozměry. S touto lampou dosáhnete cílové teploty rychleji, udržíte ji na stejné úrovni a snížíte variabilitu zbytků rozpouštědel.
To se projevuje lepší kontrolou rozměrů, méně neúspěšných pokusů a méně odpadu. Spotřeba energie klesá, protože reakce lampy je okamžitá a doba trvání procesu je kratší. Zlepšuje se také spolehlivost – méně neplánovaných přestávek kvůli výměně lampy – a můžete rozšířit rozsah provozu bez změny parametrů procesu.
Několik praktických poznámek Instalace spočívá v správné polaritě a průtoku chladicí kapaliny. Pokud jsou tyto parametry nesprávné, snižuje se životnost lampy a rovnoměrnost teploty se zhoršuje. Lampa funguje s běžnými 24V signály pro ovládání a s běžnými interfejsy výrobců, ale při první instalaci je potřeba ověřit správné zarovnání reflektoru.
Očekávejte dobu nabíjení potřebnou k dosažení termodynamické rovnováhy. Po výměně lampy je potřeba znovu kalibrovat komoru pro vypalování, aby byl zachován parametr ±0,1 °C.